“蘇總工，我明白您的佈局。但我還是有一個顧慮——雄鷹部落的技術底子確實不弱，尤其是在半導體材料和一些關鍵工藝上，他們的積累很深。我們賣給他們95奈米的裝置，他們拿到之後拆開來研究，萬一真的透過逆向工程突破了一些技術瓶頸，然後在更先進的製程上追上來，那豈不是養虎為患？”
蘇定平聽完趙啟年的擔憂，並沒有立刻反駁，而是靠在椅背上，嘴角勾起一個意味深長的弧度。
“啟年，你提到逆向工程，那我就跟你說說逆向工程這件事。”
他的語氣像是在給學生上課，耐心而從容。
“光刻機這個東西，和普通的機械裝置完全不同。它不是說你把它拆開來，一個零件一個零件地量尺寸、測材料，然後照著做就能仿製出來的。
這套裝置涉及光學、精密機械、材料科學、控制演算法、環境工程等十幾個尖端學科的深度交叉，幾百個子系統深度耦合在一起，任何一個環節的偏差都會導致整體效能的崩塌。”
蘇定平站起身，走到辦公室角落的一塊白板前，拿起記號筆，在上面畫了一個簡化的光刻機核心結構示意圖。
“比如我們的極紫外光源系統。產生極紫外光的方式本身就是一個極高的技術壁壘——用高功率雷射轟擊錫滴，讓錫滴等離子化並輻射出13.5奈米波長的極紫外光。
這個過程中，錫滴的直徑要控制在二十微米以內，雷射的轟擊頻率要達到每秒五萬次，錫滴的下落軌跡和雷射的聚焦點必須在幾個微米的空間範圍內精準交匯。”
他用筆在白板上點了點那個代表光源的小圓圈。
“這還只是光源一個環節。接下來的反射鏡系統，需要用到原子級光滑度的多層鍍膜反射鏡，每一層鉬和矽的鍍膜厚度控制在原子量級，反射面的粗糙度不能超過零點一奈米。
這種鍍膜工藝，雄鷹部落目前只能做到實驗室級別的樣品，量產良品率低得可憐。”
他的筆繼續往下畫，勾勒出一個簡化版的物鏡系統。
“再往下，投影物鏡。我們目前的物鏡系統由二十多片鏡片組成，每一片鏡片的表面精度要做到亞奈米級別，鏡片之間的裝配誤差要控制在零點幾奈米範圍內。
這個裝配不是在普通環境下完成的，而是在超高真空、恆溫恆溼的潔淨室裡，用專門的奈米定位裝置一片一片地調試出來的。
光是這個裝配工藝的know—how，就夠雄鷹部落啃上五年的。”
趙啟年聽得很認真，他雖然之前就對這些情況有所瞭解，但聽蘇定平從技術底層一條條剖析出來，感受還是完全不同。
他漸漸明白蘇定平為什麼對雄鷹部落的逆向工程如此不以為意了。
蘇定平把記號筆放下，轉頭看向趙啟年。
“而且，最關鍵的一點——我們賣給他們的光刻機裡，有幾樣核心零部件，雄鷹部落即便把整個部落的科研力量全部砸進去，十年之內也造不出來。”
趙啟年精神一振。
“哪些零件？”
蘇定平豎起三根手指。
“第一，精密陶瓷導軌。這套導軌的直線度精度要求在幾百毫米行程內偏差不超過幾十奈米，而且要在高真空和交變溫度環境下保持這個精度。
這種陶瓷材料的配方和燒結工藝，整個藍星上只有我們的龍心實驗室掌握。
雄鷹部落的陶瓷材料研究在全球也算是頂尖的，但他們目前最好的陶瓷導軌，精度比我們差了一個數量級都不止。”
“第二，高速氣浮主軸。這個主軸是驅動晶圓臺旋轉和移動的核心部件，最高轉速超過每分鐘數萬轉，徑向跳動量必須控制在幾十奈米以內。
它內部的氣浮軸承結構、供氣系統的壓力波動控制、轉子動平衡的校準精度，每一項都是絕密級別的工藝。我給雄鷹部落十年，他們也未必能把這個東西做到我們的水平。”
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