蘇定平猛地一掌拍在桌子上,合金桌面發出一聲沉悶的呻吟,震得虛擬菸灰缸裡的畫素都跳了一下。
他的聲音斬釘截鐵。
“立刻組建疊影攻堅組!袁濤任現場技術總監!按照五層曝光方案實施!哪怕成功率只有萬分之一!只要還有一絲可能造出符合7nm節點特徵尺寸的電晶體!
這條路就給我走下去!失敗?廢品?燒錢?算我的!所有責任後果我一人承擔!目標只有一個——打通這條帶血的路徑!給燭龍堆芯!送去能搏動的心!”
接下來的日子,龍芯實驗室如同進入了某種慘烈的、自我消耗的絞肉機模式。
每一次五層曝光,都是對裝置穩定性、工藝精密度、工程師神經極限的一次地獄級考驗!
塗膠…對準…曝光!
再換掩模…再塗底層抗反射塗層…再對準…再曝光!
如此反覆五次!
實驗室裡瀰漫著一種近乎瘋狂的氣息。操作員的眼睛幾乎長在對準儀的視窗上,每一次微調都屏住呼吸,手心全是冷汗。
空氣中充滿了各種光刻膠溶劑、顯影液以及過度緊張散發出的汗味。機器報警聲如同喪鐘,幾乎就沒有間斷過。
第一批五層套刻試產後,郭雪雲拿著剛出爐的良率報告單,手指都在微微顫抖。
她走到徹夜未眠、眼窩深陷的蘇定平面前,聲音帶著哭腔。
“蘇…蘇總…”
報告單上,那個用加粗紅字標出的數字觸目驚心。
【良率。14。7%】!
國際先進EUV光刻機制造7nm晶片的良率基準線是多少?初期也超過70%!量產穩定後甚至達到95%!
而龍芯的五層疊影工藝,14。7%!!
這意味著生產一百枚晶片,只有不到15片能用!其中能達到設計效能要求的,更是百中無一!剩下的85。3%,全是廢片!全是燒掉的真金白銀!還有無法估量的研發資源和時間!
昂貴的“崑崙胎玉”矽片?
珍稀最佳化過的“蝕影-7B”光刻膠?
天價的特種蝕刻藥劑?
如同流水般消耗進那臺轟鳴著、彷彿永不饜足的裝置裡,然後變成一堆堆只能用粉碎機處理的電子垃圾!
實驗室門口,一名財務處派來的會計天天抱著成本核算單捶胸頓足。
“虧!血虧!!蘇總啊!您算算!每造出一片合格的晶片,成本是市場採購價格的十倍!
二十倍!還不算損耗!!我們…我們這是點著錢堆在搞自殺式衝鋒啊!”
五層曝光工藝下的“伏羲一號”生產區域,如同一個張開血盆大口的黑洞,無情地吞噬著這個尚未完全成熟的實驗室每一份寶貴資源和每一絲殘存的信心。
龍夏晶片自主征途,在剛剛看到了“光”之後,再次一頭栽入了一個名為“多重曝光地獄”的深淵,掙扎在虧損和無果的窒息邊緣!
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