袁濤狠狠錘了一下手掌，轉向郭雪雲。
“老郭！光來了！雖然只亮了二十五分鐘！”
郭雪雲緊緊攥著拳頭，指節發白。
“方向沒錯！穩住，繼續讓盤古最佳化！資料！餵給它全維度的資料！”
錫微滴難題，似乎看到了一絲曙光，但那也只是光源系統這座大冰山顯露出的一角。
新的風暴接踵而至，而且同樣棘手。
“反射鏡的鍍膜檢測結果出來了……”
負責鏡片測試的陳工拿著報告單走進蘇定平的臨時辦公室，聲音乾澀。
“……精度……遠遠達不到要求。”
蘇定平的心猛地一沉。
作為將脆弱易散的極紫外光多次反射聚焦的關鍵核心部件，整個光刻機系統需要數十面這樣的超高精度反射鏡。
每一面，都需要在基礎基材上鍍上多達十四層的特殊光學薄膜！層數多隻是一方面，關鍵是每一層薄膜的厚度誤差必須小於0.1奈米！
這是一個讓普通顯微鏡都失去意義，讓大部分機械加工望塵莫及的精度。
“我們自己嘗試的幾批次，誤差都在幾十個奈米甚至百奈米級別，最好的也超過了設計要求十倍以上。”
陳工的聲音充滿無力感。
“這種精度……已經接近材料的物理極限和控制的極限了。
蘇總工，我們現有的裝置和工藝積澱，短期……幾乎不可能！”
蘇定平看著報告上刺眼的檢測資料，沉默了十幾秒。
他何嘗不知其中的難度？這本身就是EUV光刻機最難啃的骨頭之一，與光源、工作臺並稱三大核心壁壘。
他那份神奇的“圖紙”，其關於反射鏡鍍膜的真正技術篇章，如同被上了層層枷鎖，紋絲不動。
唯一的曙光，似乎指向了國際領先、幾乎被日耳曼部落蔡司公司壟斷的磁控濺射鍍膜技術和與之配套的超精密檢測工藝。
“陳工，繼續組織我們的人，利用現有的條件，嘗試各種可能的工藝改進方案。”
蘇定平語氣沉凝地佈置任務。
“哪怕只有萬分之一的可能性，我們也要摸索，不能坐等。”
“是！”
陳工點頭，雖然感到難如登天。
“另外……”
蘇定平深吸一口氣。
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