反射鏡基材的超精密加工和複雜多層鍍膜的難題,猶如兩座必須翻越的冰山。
蘇定平深深明白,即便龍心實驗室掌握了核心工藝,也沒有必要也沒有能力為這一個環節單獨建立一條大規模的生產線。
這太奢侈了!
拿著那份凝結了無數心血的離子束拋光新圖紙和ALD工藝手冊,以及幾塊剛剛在龍心試製線用新工藝做出來的、效能優異的試驗片,蘇定平帶著技術轉讓意向書,親自找上了龍夏部落負責光學元件頂尖研發的927研究所。
所長鄭玉,一個頭發花白、眼神卻銳利如鷹的老研究員,親自在研究所門口迎接。
他知道蘇定平現在在做的事情,更清楚龍心實驗室目前頂著多大的壓力。
會議室內,蘇定平沒有客套,直接將圖紙和樣品推了過去。
“鄭所長,龍心實驗室在EUV光刻機反射鏡的超精密拋光和多層膜沉積上取得了一些突破,這是工藝圖紙和試驗樣品的資料報告。”
鄭玉一開始神情凝重。
他知道EUV反射鏡的要求有多變態。接過圖紙,戴上老花鏡,他只是看了第一頁核心工藝原理的總述部分,拿著圖紙的手就猛地一抖!眼神陡然銳利得像探照燈,死死盯著圖紙上“離子束原子級刻蝕”、“動態補償模型”的字眼和結構圖。
緊接著,目光又落在旁邊那份薄薄的ALD工藝最佳化綱要上。
“溫度場梯度驅動原子吸附”、“分子級脈衝閥門時序控制”……他的呼吸陡然變得粗重起來!
“這……這圖紙……”
鄭玉猛地抬起頭,眼神直勾勾盯著蘇定平,聲音帶著激動和難以置信的顫抖。
“蘇總工!你們……你們這是怎麼搞出來的?這思路……這工藝!完全是顛覆性的!跟我們研究所幾十年在光機研磨拋光的老路根本不是一個概念!還有這ALD工藝的改進點,簡直神了!”
他放下圖紙,幾乎是搶也似的抓過旁邊那幾塊小小的試驗鏡片,對著光仔細檢視那光滑如無物般的表面。
“你們拋光的面型精度……”
“實測RMS誤差0.078nm,首批試驗片全部在這個數值區間。”
蘇定平沉聲道。
鄭玉倒吸一口冷氣!
他又撲到一旁的檢測儀器前,不顧身份地親自操作,將一塊試驗片放入專用的光譜分析儀中。螢幕上立刻顯示出清晰無比的多層膜干涉條紋!薄膜的均勻性、層間的界限清晰度,都讓鄭玉的眼睛越瞪越大。
“老鄭?”
旁邊幾位副所長看他半天不說話,著急地催促。
鄭玉猛地站起身,轉過身,臉上因為激動漲得通紅,他用力拍著自己的大腿。
“好!好!太好了!蘇總工!了不起!太了不起了!”
他幾乎是吼出來的。
“這技術!
這精度!別說合格!
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