命令如狂風驟雨!整個車間瞬間被點燃!所有人忘記了疲憊,忘記了懷疑,像奔向聖水的沙漠旅人!接線!除錯!開機!
那小小的銀灰色“黑盒子”被小心翼翼地接入光刻機主控系統龐大的介面陣列中。
嗡——
一聲低沉的啟動自檢蜂鳴後。
嗡!!!!!
驅動供件臺和掩模板的雙工位精密伺服馬達首次發出了極其悅耳柔和、如同龍脈甦醒的順暢嗡鳴!
連線著兩臺工作臺最高精度雷射干涉儀的巨型監控螢幕驟然亮起!
無數代表著位置、速度、即時誤差、溫度補償、微振動抵消效能的複雜曲線,如同被造物主親手繪製、被無形的上帝之手梳理熨平,以前所未有的清晰、穩定、柔順的方式舒展開來!流暢!高效!精準得令人靈魂顫慄!
動態位置誤差峰峰值。
0.8奈米!
掩模同步補償延遲。
微秒級!
穩定性冗餘度。
120%!
遠超之前任何理論預測!
遠超ASML控制系統對外模糊公佈的綜合性能指標!
一個全新的、充滿了龍夏風格的、為龍夏自研硬體平臺量身定製的、擁有完全自主核心演算法的“光刻機大腦”——在此刻誕生!
寂靜!絕對的寂靜!
然後——
轟!!!
不是歡呼!
而是一大片不由自主倒抽冷氣的震撼聲浪!如同颱風過境!
所有人都盯著那螢幕上如同藝術般精確執行的資料曲線,如同目睹神蹟降臨!許多人捂住了嘴,眼淚不受控制地湧了出來!
袁濤死死盯著螢幕,身體僵硬如同石化,足足過了十幾秒,他才抬起手,狠狠抹了一把臉,臉上分不清是汗水還是淚水。
他沒有高喊,只是用盡全身力氣,從喉嚨深處擠出兩個嘶啞到變調的字。
“真……行!”
整個光刻機所有硬體到軟體、從材料到工藝、從光源到鏡頭的、最後一個!最堅固!最無形!也曾被認為最不可逾越的障礙——徹底崩塌!龍夏,完全實現了EUV光刻技術的全鏈條自主!
那條被西方吹噓為需要整合全球數千家頂級供應商智慧的產業鏈神話,被龍夏獨自擊得粉碎!
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