沈聽瀾把曝光劑量設錯這件事,發生在開學第三週的週三下午。
那天微納加工平臺的人特別多。隔壁課題組一個博士生帶著三個碩士生在排隊,走廊裡站了一串。沈聽瀾和周予安分到的機時是下午一點到三點,時間卡得很死,到點就得交裝置。
她有點急。
不是周予安催她,是後面那個博士生每隔幾分鐘就從玻璃窗往裡看一眼。口罩上面那雙眼睛寫滿了“你們快點”。
沈聽瀾把基底放上樣品臺,在觸控式螢幕上設定曝光引數。紫外曝光,劑量那一欄她多輸了一個零。
周予安在旁邊檢查掩模版對準,沒看螢幕。
她按下確認鍵的時候,手指頓了一下。總覺得哪裡不太對,但後面那個博士生又往窗戶裡看了一眼。
她就把鍵按下去了。
曝光完成。她把基底取出來放進顯影液。
透明的液體裡,光刻膠沒有像往常一樣從圖案邊緣開始溶解。
整片膠面紋絲不動。
她又等了一會兒,用鑷子夾住基底邊緣輕輕晃動。膠面還是不動。
她把基底夾出來對著燈光一看。
叉指電極的圖案沒有出現。光刻膠被烤成了一層焦黃色,硬邦邦地覆在薄膜表面,像一層烤過頭的焦糖。
她用鑷子尖颳了一下。
刮不動。
李輝正好推門進來。他看了一眼沈聽瀾手裡的基底,又看了一眼她臉上的表情。
“這顏色挺好看。”
他湊近了些,把鑷子接過去敲了敲那層焦黃的表層,發出極細微的篤篤聲。
“跟烤鴨皮似的。你拿紫外光烤的?”
沈聽瀾沒說話。她把曝光引數從裝置記錄裡調出來,盯著劑量那一欄多出來的那個零。
手指在觸控式螢幕邊上停了一瞬。
周予安走過來,把那片報廢的基底從鑷子上取下來,對著燈光看了看。焦黃色的硬殼在光線下透出一種接近琥珀的質感,叉指電極的掩模圖案其實印上去了,但光刻膠碳化得太厲害,邊緣糊成了一片。
“留著。”他說。
沈聽瀾看著他。
他從樣品櫃裡拿出一個透明樣品盒,把那片焦黃的基底放進去,蓋好蓋子。又從筆筒裡抽出一支記號筆,在標籤上寫字。
字跡瘦的,鋒利的。
“三月十二日,曝光劑量錯誤,焦了。留存。”
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