少則數千份。
多則數萬份。
梁致遠的眉頭逐漸皺了起來。
一開始。
他還以為這只是將公開論文和行業資料整理到了一起。
可目錄裡的分類方式,卻極為專業。
甚至連國內目前尚未完全掌握的部分技術路線,都被單獨劃分了出來。
梁致遠沒有浪費時間。
他的研究方向,主要集中在半導體材料、器件結構和積體電路工藝可靠性。
最近一段時間。
半導體所正在重點攻關的,正是六十五奈米工藝中的銅互連問題。
想到這裡。
梁致遠移動滑鼠,點開了第六類。
【銅互連與低介電常數材料】
下一秒。
又是一長串更加詳細的目錄出現在螢幕上。
【銅互連電鍍液配方及新增劑控制】
【鉭及氮化鉭擴散阻擋層沉積工藝】
......
梁致遠的目光,猛地停在了最後一項上。
【六十五奈米工藝銅互連可靠性完整解決方案】
這正是他們半導體研究所目前正在進行的重點專案。
為了推進六十五奈米工藝量產,半個月前,所裡才正式成立了專項小組,由他親自擔任專案負責人。
梁致遠立刻點開了這份資料。
螢幕上再次出現了數十個子目錄,一層套著一層,似乎詳細到怎麼也點不完。
梁致遠連續點選五六次以後。
密密麻麻的資料、公式和實驗圖表,終於鋪滿了整個螢幕。
梁致遠快速翻了兩頁。
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