這話說得孟遠志極為高興!
孟遠志握著陳延森的手,力道又加重了幾分,目光灼灼地掃過眼前初具規模的現代化廠區,最終落回到陳延森臉上,語氣帶著感慨與期待:「之前總有人說,咱們內陸省份搞半導體沒優勢,比不上沿海的產業鏈配套,破曉 A220 EUV光刻機一齣,誰還敢說這話?」
「孟先生,請。」陳延森側身引路,對一旁的姚傳強遞了個眼色。
姚傳強立馬心領神會,深吸一口氣,壓下激動的心情,走在一行人的左側,為陳延森和孟遠志講解一期工程的功能區。
「我們當前所處的是專案一期核心區,這座Fab主廠房,佔地面積是30。2萬平方米,建築面積69。4萬平方米,嚴格按照國際最高標準的半導體潔淨車間設計建造的。
它的主體結構和外圍潔淨區已經全部完工,內部核心裝置正在分批進場安裝除錯。」
姚傳強顯然做過功課,言語清晰,資料張口就來。
眾人沿著預設的參觀通道向前走。
陳延森適時補充道:「一期專案全面投產後,預計將直接創造超過5000個高新技術崗位,工程師和技術研發人員佔比將高達70%。」
「5000個高質量崗位」孟遠志聽後,下意識地重複了一遍,然後看向陳延森說道:「這不僅能極大緩解本地高階人才的就業壓力,更是一個強大的人才磁極。」
陳延森應了一聲道:「孟先生說得對!人才是創新的根本,星源科技正在與中科大。合工大等高校洽談,準備共建聯合實驗室和人才定製培養計劃,進而推動產業鏈上下游的發展。」
孟遠志點了點頭,馬上表態:「要是遇到阻塞的節點,儘管開口。」
言外之意,他願意為星源科技協調教育和學術圈的資源。
陳延森笑了笑,並未拒絕,大大方方地應下。
緊接著,行至一處巨大的觀景窗前,可以俯瞰整個生產區域。
姚傳強適時同步道:「這片是晶圓製造的核心動線,從左到右依次是擴散區。光刻區。刻蝕區和離子注入區,每個區域都配備了雙重冗餘系統,哪怕單一裝置出現故障,備用裝置能在30秒內無縫銜接,確保生產不中斷。」
「陳總,是我心急了,應該等星源科技投產後再來才對。」
孟遠志望著空蕩蕩的場區,以及正在平整地面。安裝窗戶的工作人員,輕聲說道。
「孟先生來得正是時候,正因為還未投產,才能看到生產基地最真實的一面。」
陳延森指著光刻區的方向:「比如那十二個C45混凝土基座,每個都深入岩層二十米,內部鋪設了三層阻尼減震系統。
為了達到EUV光刻廠的防震標準,我們在基座裡灌注了特種樹脂,單這一個環節就耗時兩個月。
當振動頻率在1赫茲以下時,振動位移限值能控制在0。1奈米;在大於100赫茲時,也能將振動位移限值限定在1奈米之內。」
孟遠志順著指引細看,果然發現基座表面有著不同尋常的光澤。
這時姚傳強適時遞上平板電腦,調出施工時的三維剖面圖。
「這是華科協會力學所專門設計的懸浮式基礎結構,每個基座都像漂浮在彈簧上,能隔絕地面振動和聲波干擾。」
陳延森接過平板,不緊不慢地解釋道。
孟遠志俯身盯著基座接縫處的引數,雖然不太明白,但有陳延森在旁邊,迅速就理解了這項資料背後的意義。
「灣積電金陵製造廠的防震標準,不及星源科技的十分之一,因為破曉 A220的精度要求比現有的EUV光刻機還要高一個數量級。」
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