第627章 難道沒有國外的技術，我們就造不出EUV光刻機嗎？
「又卡殼了？」
陳延森看完林南的彙報郵件，眉心微蹙。
他沒想到，自己都已經把大門踹開，為他們鋪好了路，這幫人卻還是沒能力往前再走一步。
當前的難點有兩方面：
第一，中繼鏡組中的非球面反射鏡，需要將面形精度控制在50皮米以下，表面粗糙度得低於0。1奈米的均方根誤差。
換句話說，這相當於要求一塊徽安省大小的區域，整體起伏不能超過一張A4紙的厚度。
難度可想而知！
目前，全球僅有燈塔國的賽高。德國的蔡司具備相應水準的鏡面拋光工藝。
可受到瓦森納協定的限制，即便花錢買，也拿不到供貨名額。
而哈工大。國防科大和華科協會長春光機所，儘管擁有離子束拋光與磁流變拋光技術，理論上能實現原子級的面形精度，但現實與理論往往存在巨大落差。
這就好比問，國內能造出F1賽車的發動機嗎？
按理說，華國不缺能生產金屬活塞和氣缸的工廠，也清楚內燃機的製造原理。
但F1賽車發動機並非單一部件的簡單組合，它是材料學。精密加工。熱力學。電子控制系統等頂尖技術的整合體，且對轉速。熱效率和可靠性的引數標準達到了行業極致。
由此可見，技術原理懂了，要落地到穩定的實際生產中，仍有難以逾越的鴻溝。
明白是一回事，造出來又是另一回事。
第二，鏡子打磨完成後，還得在表面鍍上40到60對的鉬。矽交替薄膜層，且每層厚度的誤差都需控制在原子級別。
鍍膜環節所需的磁控濺射技術，國內雖有不少研究所已掌握，但在均勻度和精細度上，仍然不符合EUV光刻機的使用需求。
此外，如何精準檢測鏡面光滑度也是個難題。
沒有測量，就沒有加工！
檢測能力決定了拋光水平的天花板。
2014年華國在高精度干涉儀領域，特別是用於EUV波段的檢測裝置和技術，根本達不到50皮米的測量精度。
而林南和汪象朝等上百位研發工程師，已是光學賽道的佼佼者，連他們都搞不定的事，再找其他人，大機率也無濟於事。
他們盡力了，只是能力有限。
陳延森心裡清楚，他要是不出手，這場科研大會戰多半要成為一個笑話。
他略一思索，便讓林南先把離子束拋光。磁流變拋光和磁控濺射的技術文件發過來。
與此同時。
滬城，星源科技光學研發中心。
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