第631章 全球只此三家!一天9740萬!餌料要吃,自研不能停!
5月31日下午,星源科技光學研發中心。
此時雖值假期,但負責照明系統攻堅任務的上百名研發工程師,卻大多都在實驗臺前忙碌著。
「面形精度34皮米!」
「鉬矽多層膜的表面粗糙度為46皮米!」
「光能利用率91%!」
「照明均勻性超過了98%!」
突然,測試組的一名年輕工程師大聲喊道。
其他人聞聲,不約而同地停下了手中工作。
「哈哈哈不積跬步,無以至千里;不積小流,無以成江海!林總,我沒說錯吧?這照明系統外國人能搞定,我們同樣行!」
汪象朝眯起眼睛,仔細琢磨著這幾組資料背後的意義。
這意味著華國半導體行業,首次掌握了完整的照明系統技術鏈。
一旦攻克投影物鏡系統。掩膜版與掩膜臺的核心技術,華國將擁有一套具備世界領先水平的反射式光學系統。
至此,距離自研EUV光刻機,已經差不多走完了三分之一的艱難路程。
這一切,還不是全靠。老闆!
林南在心中暗暗思忖。
劉峰俊從廬州返回後,帶回了一套工藝成熟的離子束拋光。磁流變拋光及磁控濺射技術方案。
與此同時,陳延森的科研天賦也在研發中心漸漸傳開。
儘管起初大部分研究人員並不相信陳延森,但如今成果就擺在眼前,由不得他們不信。
更何況,還有劉峰俊這位當事人的佐證。
「汪工,技術文件咱們有了,但這製造任務該交給誰?是長春國科精密,還是滬城微電子裝備?」
林南眉頭微蹙,看向汪象朝問道。
「選滬城微電子吧,」汪象朝略一思索後說道:「他們的真空系統和抗汙染技術,在國內是頂尖水平,能最大程度提升成像質量。」
汪象朝這輩子的精力都撲在了光學系統研發上,對華國超精密光學制造行業的情況極為熟悉。
林南點了點頭,其實他心裡也更傾向於滬城微電子。
當天晚上,一面鍍上120層鉬矽薄膜的非球面反射鏡被送到了燕京。
華科協會的一眾大佬傾巢而出,齊聚光電所的實驗室。
有人站在一旁,神色複雜地望著這面直徑高達0。6米的反射鏡。
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