第1013章 我吃的就是兄弟！青春永駐？行！延壽不行!
廬州，星源科技總部。
潔淨室入口的空氣鎖在發出低沉的「嘶啦」聲，待氣壓平衡後，厚重的玻璃門緩緩向兩側滑開。
所有人都換上了全套無塵服，陳延森第一個跨進去，身後跟著梁勁松。林南。汪象朝，以及兩名高階光學工程師。
一進主工藝間，整片區域便被昏黃的燈光所籠罩，這是EUV光刻機專用的黃光環境，避免常規白光對光刻膠造成非預期曝光。
大廳正中，三臺破曉A3XEUV光刻機一字排開。
它的機身比上一代A220更高。更長，主體採用深灰與啞光黑的撞色設計，表面幾乎看不到外露的管線與接頭。
機器頂部的環形散熱帶微微發亮，內部的冷卻液正在持續迴圈，從而帶走光源工作時產生的巨大熱量。
陳延森在三米外站定，望著機身表面印刷的兩個字，不由地怔怔出神。
三年前，全球九成以上光刻機的外殼上都印著「AS」的品牌名，如今則全都換成了「破曉」。
這份從追趕至超越的滋味，恐怕只有深耕半導體行業的人，才能真正體會到。
這幾年，星源科技的工程師拿著高額出差補貼，奔赴歐美各地，為破曉光刻機安裝除錯。提供售後，也算親身體驗了一把當年歐美工程師的待遇。
甭管裝置出什麼問題，廠家都得開出高價。包往返機票與住宿，才能享受到合同約定的檢修服務。
敢私自拆機？
合同立刻終止！
哪怕裝置只移動一米，都必須提前報備，否則系統會直接遠端鎖機。
在光刻機領域，星源科技但凡輕咳一聲，全球所有晶圓廠都得跟著震一震。
「老闆，這就是一號機。」
梁勁松上前半步，指著面前的裝置說道：「上週五完成了最後一次全系統自檢，各子系統均綠燈透過，目前已累計執行時長超120小時，無任何故障提示。」
陳延森微微點頭，目光落在裝置底座的減震平臺上。
底座採用特製花崗岩與碳纖維複合結構，平臺邊緣鑲嵌著一圈細密的雷射干涉儀，可即時監測整機姿態，精度達到亞奈米級。
再往上，是錫等離子體光源腔。
腔體外壁密佈著高壓氙氣放電管與輔助磁約束線圈，透過觀察窗，仍能看見內部殘留的一圈圈幽藍輝光。
「光源的Collector鏡組，有沒有出現鍍膜剝落？」
陳延森忽然開口問道。
梁勁松立即答道：「沒有！我們將第四代Collector鏡的鉬矽多層膜厚度最佳化到了68。4奈米，駐波效應抑制效果大幅提升。
上一批連續轟擊測試中，累計輻照劑量達到設計壽命的1。8倍，膜層反射率衰減僅有0。7%。」
陳延森嗯了一聲，繼續向前。
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