六月中旬。
米國和蘇方暗中發生的調查與行動,沈永健一無所知。
他如今心思完全投入到了581工程上,全力攻克積體電路。
保密車間內,這次的研製隊伍可謂豪華。
計算機研究所的吳培書主任,卓邵文研究員,周克勤這三位都參與了他的研製專案。
除此之外,沈永健自然帶上了自己的兩位學生。
自這次晉省基地回來,他對自己的學生也重新提高了關注。
剩下還有研發處的同志,以及丁八一這位華清的本科學生。
原先寬敞的保密車間,人一多再加上東西一多,空間也顯得緊張起來。
“永健同志,北春光電所來訊息了。”
…
“怎麼樣?他們有信心麼?”
…
“好像信心不足…主要提及您要求的投影物鏡標準太高,國際上目前都沒有這麼高的標準光刻物鏡。”
卓邵文此刻皺著眉,面對北春光電所的回應有些著急和無奈。
積體電路的研製開啟,他負責的任務便是其中最關鍵的二代光刻機研製。
相比起第一代接觸式光刻機,二代光刻機的設計圖紙已由沈永健給出。
採用的是步進式投影光刻,相比第一代,由於無需掩膜版接觸矽片,它能徹底解決掩膜版汙染和磨損問題。
同時,更高標準的物鏡、步進動作的高精度定位及流程可控性,使得二代光刻機的製程理論上會提升到亞微米級。
這其中高標準的光學鏡頭便是光刻機必須跨過的一步。
“材料問題麼?這一塊我來想辦法。”
鏡頭需要的高標準光學玻璃,沈永健原先便有思考過。
主要難點在工藝上,也就是內部應力的消除,同時需保證折射率高度均勻。
想做到就只能從原料純度上做考量,除此之外便是精密退火爐,這些東西他雖然還未能完全設計出成品,但都在專案研製前有過考量。
“不單是材料問題,而是研製之前關於預期鏡頭的模型構建工作,若是隻憑人力計算,根本沒得搞。”
…
“所以他們是想要計算機?”
“要101還是要102?”
…
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