未來光子學實驗室,進入了一種近乎瘋狂的狀態。
那臺從好萊塢運來的準分子雷射器,已經被徹底分解。
每一個零件,從高壓放電室的電極,到共振腔的反射鏡,都被小心翼翼地拆下,編號,擺放在巨大的無塵布上。
整個車間,象一個精密的外科手術室。
“核心振盪器的設計精度,非常高。”尤里拿著一個放大鏡,仔細觀察著一個核心模組,頭也不抬地對身邊的錢院士說。
“能量放大模組的思路,也和我們當年的不一樣,更直接,更暴力。”
錢院士的團隊則圍在另一邊。
他們負責的是“軟”的部分。
一臺計算機的螢幕上,全是密密麻麻的資料流。
“輸出波長的峰值很準,就在193奈米附近,但不夠穩定,有漂移。”
“功率也需要再提純,雜散光太多。”
錢院士和幾個學生,在一塊白板上飛快地計算著,試圖建立一個新的光學模型,來馴服這頭效能強悍,但野性難馴的“怪獸”。
興奮期過後,是冷靜的分析期。
第三天,實驗室召開了一場全體技術研討會。
他沒拿稿子,直接用紅筆在白板上畫了一個潦草的結構圖。
“各位,經過兩天的拆解分析,我有一個想法。”
他的聲音不大,但整個會議室都安靜下來。
“一個很大膽的想法。”
尤里用筆尖,重重地點了點結構圖的核心位置。
“這臺機器的心臟,那個雙腔體放電室,它的潛力,遠超我們的想象。”
“我的方案是,放棄小修小補。”
“我們直接對它進行深度改造。”
他轉身,在白板上寫下兩個關鍵指標。
“脈衝寬度,壓縮到納秒級。”
“重複頻率,提升到4000赫茲以上。”
會議室裡,響起一片倒吸冷氣的聲音。
這是光刻機光源的級別。
把一臺電影道具,直接改成光刻機的核心部件。
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