光刻機是製造晶片的核心裝置,其工作原理就像是“投影”和‘曝光’,透過精密的光學系統和控制技術將電路圖案轉移到矽片上。
陳望想要大規模製造晶片,那麼光刻機就是繞不過去的門檻。
讓陳望驚喜的是這時候國內的光刻機發展並沒有他想象中的那麼落後,雖然與國外先進水平相比肯定有一定的差距,但卻已經能獨立生產製造光刻機。
這個訊息還是四機部阮司長告訴陳望的,就在前兩個月海市光學機械廠成功研製出了華國的第一臺接觸式光刻機JKG-3型。
而且這臺光刻機從光學系統、精密機械、對準技術到光刻膠等配套材料,華國都實現了自主研發,是一條完全獨立、不受外部制約的技術路線。
陳望當時聽到這裡的時候有些奇怪,在決定研發光刻機的時候他查閱過小才給的國外光刻機發展的公開資料。
光刻機如果按照曝光方式區分,目前為止光刻機的發展可分為接觸式、接近式、投影式三種。
現在國際上最先進的方向是投影式光刻機,但他們國家在接近式光刻機上也有了一定的研究成果。
所以他們國家的光刻機制造水平雖然不是一流,但也算得上是二流水平。
而且就單從解析度上來說差距就要更小一些了,解析度是指光刻機能夠在晶圓上清晰區分並形成的最小物理尺寸,也是晶片的最小線寬或者最小特徵尺寸。
解析度的數值越小光刻精度越高,現在解析度的數值一般都是以毫米為單位,但陳望上輩子死的時候已經以奈米為單位了。
從小才提供的資料來看,目前國際上最先進的晶片就是3微米制程的,但他們也已經能製出5-10微米的晶片。
這種差距也就五六年的差距,那怎麼越發展差距還越大了呢,以至於到了八九十年代已經有了快10年的差距!
所以陳望還是挺奇怪的,不過現在不是分析原因的時候,既然國內已經有了自主研發的接觸式光刻機,那麼他只要在這基礎上改進成接近式光刻機就行了。
接近式光刻機的解析度極限就是3左右微米,這用來製造蜂窩行動通訊的晶片組已經夠了。
至於投影式光刻機。
陳望看了一眼已經設計好的圖紙和列舉出來的國內目前完全不能提供的零配件.......算了,人不能一口吃成一個大胖子。
這種需要調動國家全部工業和科研資源才能攻克的難題僅憑他和四機部合作肯定是沒辦法的,他還是先在接觸式的基礎上把接近式光刻機先搞出來再說吧。
至少這個在現有的工業基礎上還能實現。
所以陳望又把設計好的投影式光刻機放到一旁,開始進一步研發接近式光刻機。
而就在陳望悶頭研發的時候,首都永光電子廠的第四車間內燈火通明,一群穿著白色棉質防塵服,帶著布帽的技術員正井然有序的忙碌著。
廠房是蘇式風格,高大寬敞,水泥地塗了綠色的油漆,搭配白色的石灰牆讓整個車間看來乾淨整潔,一看就是進行精密操作的重要車間。
不過也的確如此,第四車間正是永光電子廠的光刻車間,閒雜人一律不準靠近。
而此時第四車間外卻圍了一群人,其中阮仲楷就赫然在列,其餘則是永光電子廠還有四機部三院和華科院半導體研究室的各位教授和專家。
他們之所以深更半夜還大老遠的趕過來聚集在此就是為了見證一個歷史性時刻。
一塊完全由他們國家自己研發製造的晶片的誕生!
從永光電子廠自己設計的積體電路,到海市光學機械廠研發的接觸式光刻機,再到一直很難突破一週前卻被江寧省物理研究所成功突破拉制出來的第一根單晶矽棒........
這每一步每一個環節,都是真正意義上的完全獨立自主,所以守在這裡的領導和眾位專家教授臉上都是興奮和期待。
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