第245章 你難道連這個也懂
“繼續講吧。”
徐銘點點頭重新看向對方，示意往下接著報告。
這時旁邊的餘高遠，同樣沒有耽擱，迫不及待也跟在後面附和上一句。
“對。”
“快說下其他測試專案情況？”
迎上現場所有人目光的實驗室工作人員，因緊張下意識嚥了口唾沫後，隨即接著念出手中報告後面的內容。
“線條邊緣粗糙度出現異常，ler的測量值，普遍比璇璣系統預測高出30。”
隨著這句話講出，房間內的氛圍頓時一變。
原本還浮現在臉上的笑容，瞬間便消失不見，就象是大冬天突然被澆了盆冷水。
沒想到首次全鏈路功能驗證流片，還是不可避免的出現了問題。
而神情變化最大的，則要屬化學研究所人員，尤其是周啟深院士。
旁邊華天科技公司工程師，也微微有些皺眉。
從剛才的測試結果來看，國產逐光極紫外光刻機，主體研發成功沒有問題，線上條邊緣粗糙度上，出現這麼大數值的偏差，原因大機率在光刻膠或者演算法工具，說明仍舊存在沒有發現的錯誤。
正當大家陷入沉思時，只見周啟深一個跨步，來到那位實驗室人員跟前，迅速接過資料報告認真檢視起來。
視線約摸移動了幾行內容，口中不由得低喃出聲。
“線條邊緣在顯微鏡下，呈現出顫斗的毛邊形態，並非預測中的光滑刀刃。”
“我們的光刻膠剛完成技術升級————”
“不應出現這種情況才對？”
話音還未完全落下，華天科技董事長孫慶豐，幾乎下意識脫口接上一句。
“璇璣系統是由徐總師親自帶領大家開發，預測的數值絕對能夠保證精度。”
“沒錯。”蘇振豪聞言也點了點頭。
他全程見證了，徐銘親自參與璇璣系統開發，深知其核心演算法和模型的技術程度，是絕無例外的遠遠領先於海外三大eda公司產品。
賀鵬濤與丁順安等微電子裝備這邊，按理說應該會逐光極紫外光刻機的成功高興，但突然出現這種情況，心裡湧現出幾分擔憂。畢竟無論光刻機還是光刻膠，亦或者璇璣系統軟體，都是為了製造高階晶片服務，任何環節出現問題所帶來的結果一樣。
那就是生產線無法啟用。
至於院長餘高遠，和其他領導，因未具體參加專案。
面對稍專業的內容，無法做出判斷。
只得把目光投向，身為總設計師的徐銘。
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