《半夏花開半夏殤》第1184章 光刻層(上)(1)

作者:歐陽三歲·1個月前

婚禮進行到後半程的時候,高槿之的手機震了一下。不是電話,是郵件。郵件的標題是FAB確認流片排期。他看了一眼,把手機翻過去扣在桌上。許兮若注意到這個動作——扣手機是高槿之緊張時的習慣,不是緊張郵件內容,是緊張自己會忍不住在婚禮上看郵件。他忍了三秒,沒忍住,又翻過來,點開了。

郵件是代工廠發來的。他們那顆晶片——代號PHX-3——的光刻掩模板已經完成製作,將在下週進入光刻工序。高槿之看完郵件,把手機遞給許兮若看。許兮若看不懂郵件裡的技術引數,但她看懂了高槿之的表情。那個表情和安安繡完最後一份請柬時的表情是同一種——不是完成後的疲憊,是完成後的空。空不是空的,空是滿到溢位了語言能描述的範圍,只能以面部肌肉的微運動形式存在。高槿之的顴大肌和眼輪匝肌同時收縮了一下,收縮的幅度很小,小到除了許兮若沒人注意。許兮若注意到了,因為她在安安臉上見過完全相同的肌肉運動模式。模式是映象神經元在顳上溝完成的跨個體匹配——她的大腦把高槿之的表情和記憶中安安的表情進行了特徵對齊,對齊的誤差在神經表徵空間裡小於一個標準差。

高槿之說:下週光刻。

許兮若問:光刻是什麼?

高槿之想了想。他不是在想定義,是在想把一個他用了十年才真正理解的概念翻譯成許兮若能聽懂的詞彙。翻譯是壓縮,壓縮是有損的。他選擇了有損最少的一條路徑:就是用光在矽片上畫電路。跟你用針在絲絹上繡花差不多——你用的是針,它用的是光。你繡的是絲線,它畫的是導線。你的圖案是泡桐葉,它的圖案是幾億個電晶體。

許兮若說:光怎麼畫?

高槿之說:光不畫。光照。

光照。這就是光刻層和其他所有層的根本區別。銅聲層是砸,絲墨層是染,骨記層是刻,印刻層是印——都是用某種物質直接作用於另一種物質。光刻層不同:光刻層用光。光不是物質,光是電磁波。電磁波沒有質量,沒有體積,不佔據空間——在它被吸收之前。被吸收的那一刻,它從波變成了能量,能量加熱電子,電子躍遷,化學鍵斷裂,分子結構改變。改變就是光刻——光不雕刻物質,光誘導物質自己改變自己。

高槿之設計的那顆晶片,光刻工序要經過四十二層掩模。每一層掩模是一片石英玻璃,上面鍍了一層鉻。鉻膜上有圖案——不是泡桐葉,是幾百萬個矩形和多邊形。圖案是怎麼到鉻膜上的?是用電子束寫的。電子束的斑直徑是幾個奈米,在光刻膠上逐點掃描,掃描的路徑由EDA工具生成的GDSII檔案控制。GDSII檔案是一個幾GB大小的文字檔案,裡面記錄的是每一個多邊形的頂點座標。座標的精度是奈米級——一奈米是十的負九次方米,大約是矽原子晶格常數的兩倍。

高槿之寫的那幾萬行Verilog程式碼,經過邏輯綜合、佈局佈線、時序最佳化、物理驗證,最終變成了GDSII檔案裡的幾百萬個多邊形。程式碼是他寫的,但多邊形不是他畫的——是EDA工具自動生成的。自動生成的意思是:高槿之定義了功能,工具實現了結構。功能是這顆晶片要做什麼,結構是用什麼物理方式做。功能到結構的對映不是一對一,是一對多——同一個功能可以用無數種結構實現。工具從無數種可能中選一種,選擇的標準不是好不好看,是功耗、面積、時序的綜合最優。最優不是絕對的,是約束條件下的區域性極值。約束條件是代工廠給的工藝庫——裡面規定了每一種電晶體的尺寸、電容、電阻、導線間距的物理極限。物理極限的本質是光刻的解析度。解析度是光的波長除以數值孔徑再乘以一個工藝因子。

這顆晶片用的是極紫外光刻,波長十三點五奈米。十三點五奈米的光,在空氣中走不到一毫米就會被吸收。所以光刻必須在真空中進行。真空裡沒有空氣分子散射光線,沒有塵埃落在矽片上,沒有任何東西干擾光從光源到矽片的路徑。路徑長約十幾米,中間經過二十幾面反射鏡——不是透鏡,是反射鏡。極紫外光不能被透鏡聚焦,因為所有材料對十三點五奈米的光都有強吸收。反射鏡是布拉格反射鏡,由幾十層鉬和矽交替鍍制,每層的厚度精確控制在原子量級。光在每一層介面上反射一部分,幾十層反射的光在特定角度下相位一致,疊加增強。增強後的光強是入射光的幾十倍。幾十倍的光強,打在掩模上,穿過掩模上的鏤空圖案,再經過縮小投影系統,以四比一的縮小比例投射到矽片表面的光刻膠上。

縮小。高槿之的晶片設計尺寸,在掩模上是四倍大,到了矽片上才縮成真正的尺寸。縮小的過程是光學投影的逆過程——不是把大圖縮小,是把光的波前重新整形,讓它在更小的面積上聚焦。聚焦的極限由衍射決定。光透過掩模上的縫隙時會發生衍射,衍射讓光斑的邊緣變得模糊。模糊的程度和波長成正比,和數值孔徑成反比。十三點五奈米的波長,零點三三的數值孔徑,理論上可以分辨十幾奈米的細節。細節就是電晶體的柵極長度——柵極是電晶體的核心,電流從源極流到漏極,經過柵極下方的溝道。柵極的電壓控制溝道的導通和關斷。導通是,關斷是。零和一之間的切換,每秒可以發生幾十億次。

幾十億次。安安繡請柬,一個月繡了一百二十份。一顆晶片,一秒鐘開關幾十億次。繡花的時間尺度和晶片的時間尺度差了十幾個數量級。十幾個數量級的差距,不是好和不好的差距,是兩種完全不同的存在方式。安安的針在絲絹上每刺入一次大約需要零點二秒。在零點二秒裡,晶片裡的電晶體已經開關了十億次。十億次裡,電子在矽晶格中穿行,經過溝道,越過勢壘,進入漏極。勢壘的高度是零點幾電子伏特,電子的能量來自電場,電場的強度是每釐米幾十萬伏。電子在溝道里的速度接近飽和速度——在矽中是大約十的七次方釐米每秒。速度被晶格振動散射限制——聲子散射、雜質散射、介面粗糙度散射。散射就是電子撞到了什麼東西,失去了部分能量,改變了運動方向。方向的改變產生了熱。熱就是功耗。功耗就是晶片發熱的原因。

安安繡花不發熱。她的手溫在繡花時大約是三十度。三十度是皮膚在輕度活動時的正常溫度。皮膚下的毛細血管擴張,血流增加,熱量從肌肉傳導到皮膚表面,然後透過對流和輻射散到空氣中。散熱的速率由空氣的流速和溫度決定。安安工作室的吊扇在頭頂緩慢轉動,把她的散熱均勻地分佈在整個房間裡。晶片的散熱不能靠吊扇——晶片的功率密度比安安的手指高几百萬倍。高槿之的晶片上,最熱的區域溫度可以達到一百度以上,需要用散熱器加風扇強制冷卻。冷卻就是把熱量從晶片表面搬到空氣裡。搬的方式和安安的散熱一樣,都是對流和輻射,只是尺度不同,效率不同。

尺度不同,但熱力學定律是相同的。熱量總是從高溫流向低溫,不可逆。不可逆是熵增。熵增就是資訊的丟失。晶片每一次開關都產生熱量,熱量帶走了部分電能,電能變成了無法再利用的熱能。熱能耗散在宇宙中,宇宙的熵增加了極其微小的一丁點。極其微小,但不是零。不是零就意味著:晶片的運算是有物理代價的。代價不只是電費——代價是宇宙的混亂度在增加。增加不可逆。不可逆就是時間的方向。

光刻的方向也是不可逆的。光刻膠被曝光後,化學性質發生改變,經過顯影液的處理,曝光區域被溶解——這叫正性光刻膠——或者未曝光區域被溶解——這叫負性光刻膠。溶解後留下的圖案,作為後續蝕刻或離子注入的掩蔽層。蝕刻用等離子體轟擊矽片表面,把沒有被光刻膠保護的區域挖掉。挖掉的深度精確控制在奈米量級。離子注入把雜質原子加速到幾十萬電子伏特,打入矽晶格中,改變該區域的導電型別。導電型別分N型和P型,N型多電子,P型少電子——就是多空穴。電子和空穴在PN接面介面相遇,互相湮滅,形成耗盡層。耗盡層是電晶體工作的基礎。基礎就是在矽晶格中精確排布雜質原子的位置。排布的方式由光刻的圖案決定。圖案來自掩模。掩模來自GDSII檔案。GDSII檔案來自Verilog程式碼。Verilog程式碼來自高槿之的大腦。

高槿之的大腦。他的大腦在寫程式碼時啟用的區域,和安安繡花時啟用的區域,有相當一部分是重疊的。前運動皮層、輔助運動區、基底節、小腦——這些都是精細運動規劃和控制的核心腦區。寫程式碼是手打鍵盤,繡花是手捻針線。鍵盤和針線不同,但手部的精細運動控制在神經層面是同源的。同源的意思是:如果給高槿之足夠的時間和訓練,他也能學會繡花。事實上,他的手指靈活度不低——他可以單手拆裝示波器的探頭,可以在不碰到相鄰引腳的情況下把示波器探針點在零點四毫米間距的BGA焊盤上。那個動作的精度要求,不比繡花低。

但高槿之不會繡花。不會不是因為手笨,是因為他沒有被手把手教過。沒有被手把手教過的手,缺乏某些特定的運動程式。運動程式不是天生的,是後天蝕刻的。蝕刻需要時間,需要重複,需要有人在旁邊看著,說這裡針要斜一點那裡線要松一點。高槿之沒有人教他繡花,但他有人教他寫程式碼。他的導師在研究生第一年,坐在他旁邊,看著他敲完第一個有限狀態機,說:這裡的狀態編碼用獨熱碼,省邏輯。獨熱碼是隻有一位為一、其餘全為零的編碼方式。省邏輯是因為獨熱碼的狀態轉換不需要譯碼,直接連線。連線就是物理上的金屬導線。金屬導線在晶片上是一層一層的鋁或銅,透過通孔連線。通孔的直徑是幾十奈米,深寬比可以達到十比一。在深寬比十比一的孔裡沉積金屬,做到無空洞、無缺陷,是半導體工藝中最難的技術之一。難的程度,相當於安安在繡葉片邊緣時,每一針的間距控制精度不差過幾微米——但安安繡了十年才達到那個精度。光刻機用十三點五奈米的光,在真空中的十幾面反射鏡的配合下,每天處理幾百片矽片,每片矽片上有幾百顆晶片,每顆晶片上有幾十億個電晶體。精度是機器給的,不是人給的。機器給了精度,人定義了功能。功能就是晶片的架構。

架構是一個分層的設計。最底層是電晶體,往上是邏輯閘,再往上是暫存器傳輸級,再往上是微架構,再往上是指令集,再往上是作業系統,再往上是應用程式。每一層都是對下一層的抽象。抽象就是隱藏細節。寫應用程式的人不需要知道電晶體的工作原理,寫作業系統的人不需要知道光刻的工藝引數。但高槿之做的是最底下的幾層——從電晶體到微架構。他必須知道細節。知道細節就是知道:程式碼裡的每一個賦值語句,最終會變成矽片上的哪些電晶體的開關。開關的時序必須精確同步——時鐘訊號到達所有暫存器的時間差不能超過幾十皮秒。幾十皮秒是光走幾毫米的時間。在晶片內部,時鐘訊號沿著精心設計的時鐘樹傳播。時鐘樹是一棵由緩衝器和導線組成的樹狀網路,從根節點分叉,一級一級到達每個暫存器。每一個分叉點,導線的長度和緩衝器的驅動能力都經過精確計算和模擬,確保訊號到達每一片葉子的時間儘可能一致。葉子就是暫存器。暫存器存的是零和一。

零和一。安安的請柬上沒有零和一。請柬上的泡桐葉是一個連續的圖案,從葉脈到葉緣,紫色的深淺連續變化。連續變化是模擬量。模擬量有無窮多種狀態。無窮多種狀態無法被數字化。數字化就是取樣和量化——在模擬量的連續流上,每隔一定時間取一個值,把取值四捨五入到最近的離散等級。取樣的間隔決定了數字化的精度。取樣越密,精度越高,但資料量越大。晶片的本質是在精度和速度之間找平衡。高槿之設計的那顆PHX-3晶片,內部有專門的模擬-數字轉換模組,把天線接收到的連續電磁波訊號轉換成離散的數字序列。轉換的過程就是取樣。取樣的頻率是訊號最高頻率的兩倍以上——這是奈奎斯特取樣定理。定理說:只要取樣頻率足夠高,數字序列就可以完全重建原始模擬訊號。完全重建就是無損的。無損就是傳過去了。

傳過去了。光刻層把設計變成矽片上的物理結構,矽片上的物理結構執行起來,把電磁波變成數字,數字在晶片內部流動、變換、組合,最後變回電磁波發射出去。發射出去的電磁波被另一臺裝置的晶片接收,再變成數字,再處理,再顯示。顯示的可能是許兮若發給安安的一條微信,內容可能是請柬還有嗎?我還想要一份。安安回覆:沒了,都發完了。都發完了——但盒子裡還有第一百二十一份。

那一份沒有被光刻。沒有被取樣,沒有被量化,沒有被轉成數字訊號在光纖裡傳輸。它一直待在樟木盒子的黑暗裡,絲線裡的花青素在緩慢分解。分解的速度由溫度決定。盒子的溫度在二十到三十度之間波動,波動就是晝夜溫差和季節溫差。溫差讓盒子裡的空氣溼度變化,溼度變化讓絲線的含水量變化,含水量變化讓花青素的分解速率變化。變化很慢,慢到需要幾十年才能看出顏色變淡。變淡就是褪色。褪色就是花青素的共軛雙鍵被打斷。雙鍵打斷後,分子的吸收光譜改變,不再選擇性吸收綠光,反射的光不再是紫色。不再是紫色,許兮若就不會再說真好看。不說真好看,傳就中斷了。

中斷不是消失。資訊在中斷之前已經被複制到其他地方。許兮若掛在玄關的那份請柬也在褪色——但它褪得更快,因為它每天早晨都被陽光照射。紫外光會加速花青素的分解。分解的產物是無色的。無色就是沒有資訊。但資訊在褪色之前已經被許兮若的視網膜接收,被她的視錐細胞轉成電訊號,被她的視覺皮層解碼為,被她的語言中樞編碼為真好看三個字。真好看三個字被高槿之聽見,被他的聽覺皮層解碼,被他的海馬體編碼為一段情景記憶。情景記憶在每次回憶時被重新鞏固,重新鞏固就是重新蝕刻。重新蝕刻讓記憶更穩定。更穩定的記憶可以持續幾十年——也許一輩子。一輩子就是許兮若活著的全部時間。全部時間之後,她的海馬體停止工作,突觸權重歸零,記憶消失。記憶消失,但晶片還在。晶片裡的資料可能被遷移到新的儲存介質上。新介質可能是下一代的非易失性儲存器,用自旋轉移矩或阻變效應儲存資料。資料是許兮若和安安的微信聊天記錄,裡面有一句請柬還有嗎和一句沒了,都發完了。這兩句話在伺服器硬盤裡的某個磁疇裡存著。磁疇的磁化方向代表零或一。零和一透過糾錯編碼保證可靠性——即使部分磁疇翻轉,資料也能恢復。恢復就是傳。

高槿之在婚禮結束後第二天就飛回了深城。晶片流片需要他在FAB現場跟進。FAB是晶圓廠的簡稱,全稱是Fabrication Plant。FAB是一棟巨大的建築,內部潔淨度達到一級——每立方英尺空氣中直徑大於零點五微米的顆粒不超過一個。一個顆粒就能毀掉一整片矽片上的幾十顆晶片。所以進入FAB的人要穿無塵服,從頭到腳包裹,只露出眼睛。眼睛也要戴護目鏡。高槿之穿著無塵服站在光刻機旁邊,看著矽片在自動化軌道上傳送。矽片是圓的,直徑三百毫米,表面鍍了一層光刻膠,在黃光下呈現一種黯淡的紫色。

紫色。高槿之看到那個紫色的瞬間,腦子裡閃過的不是光刻膠的化學式——光刻膠的紫色來自感光劑中的重氮萘醌化合物,它的吸收光譜恰好在紫光波段——他腦子裡閃過的是許兮若玄關牆上那份請柬的紫色。兩種紫色在物理上是完全不同的分子,但顏色在感知上是相似的。相似不是因為分子相同,是因為它們吸收和反射的光譜分佈相似。光譜分佈刺激視錐細胞的模式相似,大腦把相似的刺激歸類為同一個顏色。歸類是認知的經濟性原則——不需要為每一個光譜分佈單獨建立一個顏色標籤。同一個標籤下,涵蓋了泡桐花、繡花絲線、光刻膠、黃昏的天空、高槿之大學時買的第一本Verilog教材的封面。那本書的封面也是紫色的。

他把那本書留到現在。不是因為有用——技術更新太快,那本書裡的內容早就過時了。他留著是因為封面的紫色和翻開第一頁時聞到的油墨味。油墨味是揮發性有機化合物的混合氣味,主要成分是甲苯、二甲苯和乙酸乙酯。那些分子透過嗅覺上皮進入他的鼻腔,啟用嗅覺受體神經元,訊號經嗅球傳到梨狀皮層和海馬體。海馬體把氣味和當時的學習場景繫結,形成一種叫普魯斯特效應的記憶現象——氣味喚起自傳體記憶的能力比其他感官線索更強。更強是因為嗅覺通路直接投射到海馬體和杏仁核,不經過丘腦中轉。不經過中轉就是更直接的傳。更直接,蝕得更深。

那本書現在在高槿之深城公寓的書架上,夾在一堆更新的技術書籍之間。書的紫色封面褪色了,邊緣磨白了。磨白就是纖維素纖維被反覆摩擦後斷裂、起毛、脫落。脫落的是紙張的物理質量,但內容沒有脫落。內容是高槿之二十歲時第一次理解有限狀態機的那一瞬間的頓悟感。頓悟感是一種強烈的認知情感,由前扣帶皮層和島葉的啟用伴隨。啟用的模式被蝕刻在他的神經連線裡,二十年後仍然可以在特定觸發條件下被重新啟用。觸發條件可能是看到紫色,可能是聞到油墨味,可能是婚禮那天許兮若說的光怎麼畫。

光怎麼畫。高槿之在FAB裡,看著光刻機內部的十三點五奈米光照射矽片。光照在光刻膠上,光刻膠的分子發生化學反應。光照就是畫。畫不用筆,不用手,不用針。畫只需要光和掩模。掩模上的圖案來自他的程式碼。他的程式碼來自他的大腦。他的大腦裡有導師教他的獨熱碼,有大學那本紫色封面的教材,有二十歲時頓悟的那個下午的陽光。那天的陽光從圖書館的窗戶照進來,落在紫色封面上,封面反射的紫光照在他的視網膜上。紫光裡的藍色光子能量較高,紅色光子能量較低。藍色光子刺激S錐細胞,紅色光子刺激L錐細胞。兩種錐細胞的訊號在視網膜的雙極細胞層整合,透過神經節細胞傳向大腦。大腦的視覺皮層把訊號解碼為紫色。紫色在他二十歲那年的視覺皮層裡留下了印跡。二十年後,他站在FAB的黃色燈光下,看到光刻膠的紫色,那道印跡被重新啟用。重新啟用不需要光照——光照只是觸發,印跡本身是在他的神經迴路裡。

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