哪怕是擁有諸多支援,擁有大量的資源,研製光刻機依舊是困難重重。
他指著光學系統,說道:“DUV光刻機需要由15-20個直徑200-300的透鏡組成的透鏡組;
EUV光刻機則需要由20多塊“鍋底大”的鏡片串聯組成的反射系統。
鏡面表面起伏要求極其嚴苛,如30c的鏡子起伏不超過0.3n”
“這一項技術,目前在國內,還沒有能實現。”
“更別說對光學元件進行原子級精度的拋光和高精度鍍膜……”
郭汝京一想到這些完全沒有儲備的技術,就覺得頭腦發熱。
單一研製光刻機的國家,基本不存在。
而現在,紫晶工廠要做的,就是突破這全球的限制,完全依賴國內的廠家,或者自身研製,造出一臺光刻機來!
“0.3n起伏……這,鄭穩都摸不出來吧?”蔣新松有些咋舌。
“嗯,我已經聯絡了國內幾家光學頂尖的實驗室,諮詢了一番,但暫時還是沒有訊息。”郭汝京指著上面任務裡的備註,寫著正在求助,待攻克。
蔣新松理了理頭緒,然後看向運動模組,問道,“工件臺與掩模臺的進度,怎樣了?”
“精密運動與定位系統啊……”郭汝京又點開另一個模組,面露難色的說道:“情況也不太妙啊!”
他一一點開裡面的詳細任務,這個蔣新松倒是不需要他的解釋,就完全能看懂。
製造能夠在高速運動下(如掃描曝光)實現亞奈米級定位精度的雙工件臺系統。
其定位精度需小於10n甚至要達到3n內的套刻精度要求。
研發應用雷射干涉儀、光柵尺等超精密測量感測器,以及直線電機、壓電陶瓷等驅動器,實現對晶圓和掩模版的即時位置反饋與控制 。
這些都是超精密的器件。
如果只是一般的光柵尺,或許萬八千就能買到,但是要放在光刻機上,顯然不夠。
蔣新松看著下面一堆紅色的待開展任務,也不禁皺起眉頭,“這需要更高效能的點選,才能實現運動的精度。”
“而因為燈塔國的制裁,發那科、西門子等大集團,都已經中斷了咱們採購效能級以上的電機……”
他覺得十分棘手。
現在的情況,真的就是,幾乎是一顆螺絲,都得自己造,人家都不肯賣給你。
而這些,在國內又沒有替代品。特別是高階電機,目前初苗集團的德多電機,就已經是國產電機的領軍人物了。
壓根找不到第二家能直接買來使用的。
“哎,還是得等老錢發力啊!”郭汝京感慨說道。
好在這條路也不是隻有他一個人,整個光科技專案,牽扯進來的團隊不下百個,上萬名工程師,都在研究著。
其中還有不少高校的團隊,也在接到紫晶工廠的委託研究任務後,加入到研究行列中來。








