“裝置呢？”林遠問，“離子注入機，我們有嗎？”
“有。”王海冰點頭，“中科院微電子所有一臺國產的樣機，雖然不如美國的Applied terials先進，但注入氫離子夠用了。”
“鍵合機呢？”
“這也是個難題。”李振聲皺眉，“鈮酸鋰和矽的熱膨脹係數不同。高溫鍵合會炸裂。我們需要常溫鍵合技術。”
“目前，這項技術掌握在奧地利的EVG公司手裡。”
“買！”林遠毫不猶豫。
“買不到。”王海冰苦笑，“EVG也在瓦森納協定名單裡。”
又是一堵牆。
沒有現成的鍵合機，就意味著無法把那層珍貴的薄膜貼到矽片上。
貼不上去，一切都是空談。
“常溫鍵合的原理是什麼？”林遠問。
“表面活化。”李振聲解釋，“在真空環境下，用等離子體轟擊兩個材料的表面，打斷表面的化學鍵，讓原子處於飢餓狀態。”
“然後，把兩個表面貼在一起。”
“原子之間會瞬間形成共價鍵，就像兩個磁鐵吸在一起一樣。不需要膠水，不需要高溫。”
“但這需要極高的真空度和極精密的等離子體控制。”
“如果我們自己造這臺機器……”王海冰估算了一下，“大概需要半年。”
“太久了。”林遠搖頭。
他突然想到了什麼。
“等一下。表面活化……等離子體轟擊……”
“我們在江鋼的工業之心專案裡，是不是改造過一批等離子體清洗機？用來清洗汽車鋼板表面的？”
“是。”孫大炮透過影片連線回答，“那是用來除油的，粗糙得很。”
“原理是一樣的！”林遠眼中閃過一絲瘋狂。
“把那臺清洗機拉過來！”
“我們要對其進行魔改！”
三天後，東海縣工廠。
一臺被拆得面目全非的工業清洗機，擺在無塵室裡。
它的噴頭被換成了高精度的離子源，真空泵被換成了分子泵。
“這是土法煉鋼啊……”嚴教授看著這臺“怪獸”，直搖頭。
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