江州,啟明防務技術研究院,地下三層絕密會議室。
空氣中瀰漫著緊張的味道。
坐在林遠對面的,是尼康精密機械部門的前本部長,山田光一。他身後跟著三個頭髮花白的日本老頭,都是尼康光系的骨灰級專家。
山田光一將一個沉重的鈦合金手提箱放在桌上,解鎖,開啟。
裡面是一塊硬碟,和一本厚厚的紙質藍圖。
“林先生,”山田的聲音低沉,“這是尼康秘密研發了五年的NA 0.55投影物鏡系統設計圖。”
“AS的EUV光刻機,NA數值孔徑只有0.33。而我們這個,是0.55。”
“理論上,配合你們的計算光刻技術,它可以讓DUV光刻機的解析度極限,推進到3奈米。”
“這是尼康最後的賭注。也是我們反擊AS的唯一武器。”
王海冰戴著手套,翻開藍圖。只看了幾頁,他的手就開始顫抖。
“這……這太瘋狂了。”
“物鏡組總長2.5米,最大鏡片直徑0.8米,總重量1.5噸?”
“這哪裡是顯微鏡,這簡直是天文望遠鏡!”
“是的。”山田點頭,“為了在193n長下實現0.55的NA,我們必須把鏡子做得巨大,以收集更多的衍射光。”
“但是,”山田話鋒一轉,眼神黯淡,“我們造不出來。”
“為什麼?”林遠問。
“三個原因。”
山田伸出三根手指,像是在歷數家珍般的絕望。
“1. 材料封鎖,這種尺寸的透鏡,不能用石英,必須用氟化鈣單晶。因為只有螢石在深紫外波段下吸熱少,熱透鏡效應低。但是,全球能生長這麼大尺寸螢石晶體的,只有德國肖特和美國康寧。他們對中國和叛變的尼康,斷供了。”
“2. 加工極限:鏡片太大了,自重導致的重力塌陷達到了微米級。而我們的面型精度要求是0.5奈米。這意味著,我們要在鏡片彎曲的狀態下,把它磨平。這需要磁流變拋光技術。尼康沒有這種裝置,那是美國QED公司的專利,嚴禁出口。”
“3. 計量黑洞:就算造出來了,我們沒法測。要測量0.8米口徑、0.5奈米精度的非球面,需要巨型的計算全息干涉儀。這東西,只有美國Zygo公司能做。同樣,禁運。”
“林先生,”山田看著林遠,“圖紙我給你了。但如果你解決不了這三個問題,這就是一堆廢紙。”
林遠看著那張藍圖。
巨大的透鏡組像一座複雜的玻璃塔,精密,脆弱,且沉重。
“既然圖紙有了。”
林遠合上箱子。
“那我們就從石頭開始造。”
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