第1038章
“EUV極紫外光技術麼......”
聽到這個無比熟悉的名詞,楚揚神色微微有些複雜,勾起了上一世的一些回憶。
現在這個時候市場上主流的光刻機裝置大多是採用了DUV深紫外光技術,這種技術目前已經十分成熟,但受限於深紫外光的波長尺寸原因,所以DUV技術的極限僅可以生產出20奈米以上的晶片。
而在兩年前,風車國的愛斯麥爾公司卻是率先攻克了更為先進的EUV極紫外光技術!
其新技術所採用的極紫外光在波長尺寸方面具備極大的優勢,遠遠小於之前深紫外光的波長尺寸,所以完全可以生產出尺寸更小的半導體晶片!
這個訊息一經發出,對於全球光刻機裝置市場,直接帶來了十分巨大的衝擊!
也正是這項技術的突破,讓米國控制的愛斯麥爾公司在整個全球光刻機領域壟斷了足足十幾年!
直到十幾年之後,楚揚重生之前,EUV光刻機技術領域才出現了一些突破......
楚揚記得很清楚,當初華夏國的華芯國際公司曾經在2018年向愛斯麥爾公司下訂過一臺採用EUV極紫外光技術的光刻機產品,但是因為米國方面的干預,這款裝置最終沒能交付。
這也導致華夏的半導體產業一直沒能真正發展起來......
諸般思緒在腦海中一閃而過,楚揚終於回過神來,緩緩吐出一口氣,看向神色明顯有些黯然的美熟女教授,
“奧德蒙教授,其實EUV技術的研發方向,並非一定要使用極紫外光線作為光源......”
“可是這麼多年來,經過無數次實驗,只有紫外光線最適合對晶圓片進行有效曝光。”
“而在眾多型別的紫外光線之中,也只有極紫外光線的波長能夠達到20奈米以內......”
穿著白大褂的美熟女教授無奈地搖了搖頭,這個基礎性問題她們又怎麼會沒有想過。
但無數實驗案例證明,目前能夠適用於光刻機應用的只有紫外光線而已,甚至極紫外光線由於波長過短,所以形態極易不穩定,在進行曝光時容易出現問題。
“那你有沒有考慮過使用X射線作為光刻機光源?”
“X射線?”
禁慾系美女教授微微一怔,然後直接毫不猶豫地搖了搖頭,
“X射線的波長確實極短,甚至能夠達到0.01奈米到10奈米,這已經遠遠小於極紫外光的最小波長。但是由於X射線的頻率極高且穿透性極強,在進行曝光時能夠瞬間擊穿晶圓片,所以根本不可能用來作為光刻機的光源使用......”
X射線是一種頻率極高,波長極短、能量很大的電磁波,其頻率和能量僅次於伽瑪射線,因為穿透性很強的緣故,之前甚至沒有人考慮過可以將其作為光刻機光源。
楚揚卻是微微一笑:
“如果說,可以在晶圓片和光刻膠之間置入一層可以阻擋X射線穿透的特殊塗層呢?”
“塗層?”
禁慾系美女教授嬌軀微微一顫,然後一雙漂亮的藍色眸子瞬間瞪得渾圓,死死盯著一臉淡然笑意的楚揚,彷彿是聽到了什麼十分不可思議的事情一般!
“沒錯,而且這種塗層的材料我也知道,奧德蒙教授稍後可以去測試一下效果如何......”
楚揚點了點頭,然後走到這位一臉震撼的美熟女教授身前,壓低聲音說出了一個名詞,又將具體方案大概描述了一遍。
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