北京,漢東,南湖展區中央,一座玻璃恆溫箱內,靜靜陳列著一片12英寸矽晶圓。
顯微投影將其電路放大千倍——38奈米線寬清晰可見,電晶體密度遠超同期65nm產品。
全息屏上,HL-38i光刻機剖檢視緩緩旋轉,標註著:“中國首臺自主38nm浸沒式光刻機,解析度≤38nm,套刻精度≤8nm”。
忽然,入口處一陣騷動。
比爾·蓋茨緩步走入,西裝筆挺,神情複雜。
緊隨其後,黑色高領衫、牛仔褲的喬布斯雙手插兜,目光如鷹隼般掃視那片晶圓。
兩人對視一眼,竟罕見地微微點頭——共同的震撼,讓他們暫時放下恩怨。
隨後,任政非、雷布斯、求白君等人魚貫而入,彼此寒暄,眼中卻都燃著同一種火焰:驕傲。
趙崇明站在展區中央,一身深灰西裝,笑容溫和:“感謝各位蒞臨漢東之夜。”
記者們看到這一幕一個個都是震撼萬分。
趙崇明這個傢伙,他又開始整大活了。
“各位!”趙崇明笑了笑:“這就是漢東省的光刻機,大家可以放心的欣賞,看看我們的技術到底是真的還是假的。”
環形全息屏幽藍微光流轉,3米高的虛擬空間內,HL-38i光刻機的1:1剖檢視緩緩旋轉。
鏡頭推進——193奈米ArF準分子雷射從光源室射出,經十組高精度反射鏡校正,精準聚焦於矽片表面;
雙工件臺以每秒200奈米的步進速度同步移動,誤差控制在±2奈米以內;浸沒式噴淋系統在鏡頭與晶圓間形成超純水膜,提升解析度至38奈米極限。
喬布斯站在最前排,雙手插在牛仔褲口袋裡,眉頭緊鎖。
庫克則微微前傾,眼鏡反著冷光,手指無意識地摩挲著腕錶,說實話,此時此刻,庫克是有一些緊張的,晶片對於手機來說這很重要。
趙崇明現在對他們來說就是斷崖式領先。
如果他們追不上,就要被徹底甩開。
叫他們來,他們不得不來。
突然,全息畫面切換。
不再是模擬動畫,而是南湖園區地下潔淨室的即時首播。
鏡頭對準一臺銀灰色巨型裝置——正是HL-38i本體。
機械臂緩緩從曝光腔中移出一個晶圓傳送盒,LED屏顯示:“批次#20080808-T1,完成,良率76.3%。”
解說員聲音沉穩而清晰:
“此刻,這臺光刻機正在漢東南湖生產Nova2與華為基站所用的T-1晶片。它每小時可加工120片12英寸晶圓,良率達75%——與國際同類裝置持平。”
話音未落,全場譁然。
比爾·蓋茨站在右側,原本抱著手臂、神情剋制,此刻卻不由自主向前邁了一步。
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