北方。華科精密裝置有限公司。
一號裝配車間。
巨大的穹頂下,那臺被拆解又重新組裝的碳化矽外延爐,像一頭沉睡的鋼鐵巨獸,靜靜地趴在車間中央。
這是改造後的第一次熱場空載測試。
沒有放入碳化矽粉料,也沒有放入籽晶。只是單純地測試裝置在兩千度高溫下的溫度場分佈是否均勻。
這是碳化矽長晶最核心、也是最難的一關。
陶安然穿著灰色的工裝,頭髮隨意地紮在腦後。
這半個多月來,她和華科的技術團隊吃住在車間裡。從石墨氈的切割、保溫層的階梯化鋪設,到感應線圈的重新繞制,每一個細節她都親自盯著。
華科的老廠長趙建興,揹著手站在陶安然旁邊。他今天沒穿那身洗得發白的藍色工裝,而是換了一件乾淨的灰色夾克。
“陶工。”趙建興看著那臺外延爐,聲音有些發緊,“這爐子,能行嗎?”
陶安然沒有看他。她的目光死死盯著控制檯上的溫度顯示屏。
“趙廠長。引數是死的,裝置是活的。”陶安然的聲音沙啞,“行不行,燒了才知道。”
“抽真空。通氬氣。準備升溫。”
真空泵發出低沉的轟鳴聲。爐腔內的空氣被迅速抽乾。
“真空度達標。氬氣流量穩定。”陳宇彙報道。
“開始升溫。第一階段,目標溫度1000度,升溫速率每分鐘10度。”陶安然下達指令。
感應加熱線圈開始工作。
外延爐的表面溫度逐漸升高。車間裡的空氣變得有些灼熱。
趙建興緊緊盯著螢幕上的溫度曲線。
1000度。很順利地達到了。
“第二階段。目標溫度2000度。升溫速率每分鐘5度。”陶安然的聲音沒有一絲波動。
這是最關鍵的階段。
在兩千度的高溫下,熱輻射會變得極其複雜。任何一點保溫層的微小缺陷,都會導致爐腔內出現巨大的溫度梯度。
溫度一點點攀升。
1500度。
1800度。
1950度。
趙建興屏住了呼吸。他的手心裡全是汗。
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