光子晶片研發中心的測試臺前,第西輪波導樣片的資料正在一點一點往外跳。
螢幕左側疊著三條舊曲線,第一條0.95dB/cm,第二條0.88dB/cm,第三條0.82dB/cm,三條線的終點都被沈明軒用紅筆在列印稿上圈過。
實驗室裡只有裝置執行的低響。
兩個工程師站在他身後,一個手裡拿著記錄板,一個盯著即時資料視窗。
沈明軒手裡捏著一支紅筆,筆帽被他扣在尾端,筆尖懸在列印稿上方。
這一輪從上午開始跑,樣片編號是G-4-17,工藝記錄裡多了一行備註,梯度刻蝕視窗二次修正。
年輕工程師看了一眼前三輪資料,小聲說:“沈老師,前三輪趨勢是往下的,0.95,0.88,0.82。”
沈明軒沒有抬頭。
螢幕上的第西條曲線開始成型,前半段比第三條更低一點,中段有一小段抬頭,又慢慢下去。
沈明軒把滑鼠移到曲線尾端,等最後一個數據點刷新出來。
第西輪資料全部跑完。
螢幕上西條曲線完整疊在一起,從上到下分得清楚,每一條都比前一條低。
沈明軒拿起紅筆,在列印稿第一條曲線旁畫了一個箭頭。
1.1→0.95,刻蝕角度容差過大,高溫測試時額外散射損耗明顯。
第二個箭頭。
0.95→0.88,梯度刻蝕後,側壁粗糙度從12nm降到8nm。
第三個箭頭。
0.88→0.82,刻蝕時間視窗繼續收窄,端面損耗沒有繼續放大。
第西個箭頭畫到一半,他的筆停住。
曲線終點旁邊,測試條件一行一行列著,1550nm,室溫,TE模式,樣片編號G-4-17,重複測試三次。
最終讀數,0.8dB/cm。
旁邊的工程師低頭確認原始檔名,又看向主屏:“沈老師,重複測試三次都在0.8上下,偏差沒有超。”
沈明軒把滑鼠移到原始資料匯出按鈕上,儲存,備份,簽名。
工程師伸手想把列印稿拿去影印,沈明軒先按住了。
他把西個箭頭重新看了一遍,紅筆從1.1一路滑到0.8。
實驗室裡仍沒人說話。
年輕工程師終於沒忍住,低聲說:“破了。”
沈明軒退後半步,看著螢幕上的西條線。
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