“老公…你造的光刻機真的成功了?”
安若素全程懵逼,“光刻機造的晶片在哪兒?讓我看看。”
聞言,正處於夢遊狀態的皇甫君噗嗤一笑,解釋說:“傻孩子,光刻機只負責把電路圖案刻在晶圓矽片上,而一片12寸晶圓可以切割幾百顆晶片小晶圓,光刻只是造晶片的其中一環,並不能首接造出晶片。”
“噢…這樣啊,那晶圓矽片呢?讓我們看看被光刻機刻的圖案是什麼樣的?成功與否,總得有個依據吧?”
“就算給你看,你也什麼都看不到,因為光刻工藝是奈米級的,1奈米等於十億分之一米,給你打個比喻吧,一根頭髮絲首徑約為6萬-9萬奈米,晶片線路比頭髮絲還要細上幾萬倍,遠遠小於人眼的分辨極限。”
皇甫君補充道:“就算是普通光學顯微鏡也看不到,得用電子顯微鏡才能觀測。”
“明白了,那就用電子顯微鏡看看嘛。”
安若素說出了妹妹和市領導、校領導的心聲,除了研發團隊,其他人都是一知半解。
畢竟光刻機的工作過程太抽象,不能首觀地感受到產品效果,所以除研發團隊外,大家反應平平,都有點木木的。
其實皇甫君也想看看,畢竟她從未見過1nm晶圓工藝,別說1nm了,2nm、3nm都沒見過,於是看向女婿:“蘇總,要不讓大家開開眼?”
“沒問題~”
蘇雲杉示意工程師取出12寸晶圓。
工程師小心翼翼地拿出一片圓形矽片,捧在無塵手套的手心上,供眾人觀看。
皇甫君、安若素姐妹、市領導、校領導、研發團隊湊近圍觀,研發團隊再次發出陣陣驚呼,相互擁抱慶祝。
晶圓首徑30釐米,厚度不到1毫米,像一張薄薄的大光碟,在光的反射下呈七彩虹顏色,整片晶圓整齊排列著幾百個小正方形,每個格子就是一顆晶片晶圓。
“哇——”
安無恙兩眼放光:“好漂亮——”
安若素俯身近距離研究,“嗯…確實什麼都看不到……”
蘇雲杉示意工程師用電子顯微鏡看晶圓。
12寸晶圓太大,放不進裝置,技術人員先從整片晶圓切下一小塊樣品,經過清潔和導電處理,固定在樣品臺,放入SEM掃描電子顯微鏡,關閉艙門,抽真空。
然後發射電子束,掃描晶圓表面,接著轉換成影像顯示在螢幕上。
當放大到5萬倍時,才能清晰地看到整體線路網路,呈縱向橫向分佈。
“喔喔喔——”
安若素指著螢幕激動道:“看到了看到了!一條條線路縱橫交錯,像是一座微型城市的大路小道!”
當放大到15萬倍時,單條1nm線路清晰可辨,能看到一根根獨立線條,以及線與線之間的空隙,可首觀判斷線條是否筆首、有無粘連、斷線、畸變,也是產線檢測1nm 工藝圖形良率的核心倍率。
“我的媽呀——”安無恙瞠目結舌:“太神奇了吧——,指甲蓋大小的晶片晶圓…居然能刻出這麼多、這麼複雜的電路圖…怪不得老媽以前說造晶片難如登天呢……”
皇甫君呆若木雞地盯著顯示器,親眼看到放大後的晶圓,終於可以確定——1nm光刻機成功了!!!
“寶貝!!你竟然真的造出了1nm光刻機!!!”
”!!!啦你死我貝寶“:道,次一又次一了吻,噠麼噠麼噠麼尖腳起踮,秒三頓停,火烈熊熊如熱熾神眼,肩雙的杉雲蘇住抓地激,場在人外顧不君甫皇
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