第57章 沈若晴對李超說謝謝你們“深紫外光源,波長193奈米。透過透鏡組將掩膜版上的電路圖案縮小四倍,投射到塗了光刻膠的矽片表面。單次曝光的套刻精度在三奈米以內。”
孫明遠頓了一下。
“三奈米。大概是一根頭髮絲直徑的兩萬五千分之一。”
沈若晴站在玻璃前面,一動不動。
面罩上方露出的那一截額頭和眉毛,看不出任何表情。
但李超注意到了一個細節。
她的手。
兩隻手垂在身體兩側,手指緊緊攥成拳頭。隔著手套都能看出用力的程度。
孫明遠也注意到了。
他看了李超一眼。
李超微微搖頭。
別打斷她。
沈若晴在光刻機前面站了整整兩分鐘。
兩分鐘裡,那臺光刻機完成了一次曝光迴圈。
機械臂將處理好的矽片取出,放回傳輸盒。傳輸盒沿著天軌滑向下一個工站。
整個過程沒有發出任何聲音。
沈若晴終於往前走了一步。
她的右手鬆開了拳頭,手指伸直,按在了玻璃幕牆上。
指尖觸碰到冰涼的玻璃表面,停了一秒。
然後她收回手,繼續往前走。
走過光刻機隔間之後,走廊進入了後段工序區域。
離子注入。化學機械拋光。金屬化沉積。封裝測試。
每一個環節都有對應的巨型裝置,每一臺裝置都在安靜地。精確地。不知疲倦地執行。
孫明遠一直在講。
從材料純度講到加工精度,從裝置原理講到工藝引數。
他講得很細,用的是他能想到的最通俗的語言。
但他漸漸發現一件事。
沈若晴沒有問過一個問題。
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