有人面露難色地擔憂道。
林南皺起眉頭，看向裝置組的主任工程師問道：「蔡司鍍膜機在恆溫恆溼環境下，能不能把精度穩定控制在0。05到0。1奈米之間？」
裝置組的主任工程師想了想，非常嚴謹地回答道：「連續沉積10層鉬矽膜，厚度誤差最小0。04奈米，最大0。09奈米，剛好能滿足方案要求。
但問題是，每次換靶材。調整雷射功率時，誤差會出現0。12到0。15奈米的波動，80次沉積下來，累積誤差可能會超標。」
林南思索片刻，給了一條解決思路：「那就加一道即時校準的流程，演算法組先開發一套膜厚監測程式，跟鍍膜機的感測器聯動，每沉積10層，就自動暫停，用電子顯微鏡掃描膜厚。
根據實測資料調整下一輪的雷射功率和沉積時間，把單次誤差控制在0。05奈米以內。
另外，在鍍膜機周圍加一圈恆溫罩，避免溫度的負面影響。」
其他人聞言，頓時豁然明悟。
林南畢竟是滬城光學精密機械研究所的高階工程師，能力和技術兼而有之，又是胡銳暉極力推薦的人才，關鍵時刻能拿出行之有效的方案倒也正常。
事實上，在陳延森看來，像林南等人，智商。領悟力和創造力都不錯，但苦於接觸不到EUV光學的頂尖技術，這才像是鬼打牆似的，一直繞彎路。
若是能擁有同等的科研環境，林南未必開發不出一套收集鏡系統，可很多事終究沒有如果。
而陳延森能搞定這項技術，靠的也是遠超常人百倍的精神力，以及能讓他進入超頻思維狀態的【普朗克時鐘】天賦。
不然以他原本的能力，或許也能突破這項技術，但要花費的時間，絕對不止半個月。
在拿到「多殼層掠入射橢圓收集鏡系統」的技術方案後，星源科技光學部上下，立刻投入全部精力，以最快的速度反覆打磨。全力復現，力求將這套系統成功應用到實際生產中。
演算法組連夜加班，三天內就完成了膜厚監測程式的開發。
該程式可以即時採集鍍膜機的雷射功率。沉積時間資料，還能自動生成膜厚誤差曲線，當誤差超過0。05奈米時，將會觸發暫停指令，進而對精度進行即時校準。
由於研發中心還有大量光電所的工程師，所以科學協會的大佬們，沒過多久就得知了星源科技的技術突破。
「老胡，你幫我問問，星源科技還缺不缺人？」
滬城光學精密機械研究所的汪象朝，主動撥通了胡銳暉的電話，支支吾吾地說道。
「什麼意思？你想辭職？開什麼玩笑！」
胡銳暉反問道。
汪象朝可是滬城光學精密機械研究所的中流砥柱，主要的研究方向都在EUV光源領域，前後申請了170餘項專利，妥妥的行業大牛。
「老胡啊，星源科技連自研的收集鏡系統都弄出來了，你知道這意味著什麼嗎？再往下走，光源系統就能徹底打通，一旦完成雙工件臺的研發工作，第一臺國產EUV光刻機就有了技術根基，你明白嗎？」
汪象朝拿著電話，接連問道。
「老汪，你都一把年紀了……」
胡銳暉幽幽說道。
「放屁！六十歲，正是拼搏的年紀！算了，我還是找林南吧，不管怎麼說，我也是他的老領導。」
汪象朝見胡銳暉推三阻四的樣子，瞬間氣不打一處來。
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