光路成型,微光落地。
實驗室內,那一束淡紫平行光刻光束靜靜懸停,穩如磐石,無色差、無彌散、無偏移。
劉科學久久凝望,心緒翻湧。
矽料、光刻膠、光學鏡片、投影光路,四座橫亙在半導體工業前的大山,被他們一步一步、硬生生徒手翻越。
可他依舊清醒。
“金蓮,光路再好、材料再精,最後都要看工件臺。”
他指著平板上的工件臺引數,語氣凝重的說道:
“光刻機之所以極難製造,不止在光,更在‘動’。
曝光過程中,矽片需要高速掃描、步進對位。
現代光刻機工件臺,定位精度奈米級,重複定位誤差不能超過兩奈米。
人眼看不見的一絲震動、一絲偏移、一絲間隙,都會讓整片晶片報廢。
普通機床,靠穩固、靠剛性。
而光刻工件臺,靠的是極致的穩、極致的微控、極致的消震。
在沒有磁懸浮、沒有雷射對位、沒有數控微驅模組的簡陋條件下,想要造出奈米級精密移動平臺,幾乎是不可能的事情。”
林金蓮點了點頭,走到工作臺另一側。
那裡擺放著其它技術工人們鍛造、打磨、精加工完成的全套配件:
超高精度螺紋絲桿、零間隙滑動導軌、配重減震基座、微調分度盤、自鎖限位結構。
全手工車削、全手工校準。
林金蓮指尖撫過冰涼緻密的合金導軌,目光沉靜如水的說道:
“光路定乾坤,平臺定生死。
光穩不住,圖案糊。臺穩不住,晶片廢。
既然沒有工業微控系統,那我就用神魂之力,打造機械極限精度,補平所有差距。”
她的思路簡單卻逆天——
以神魂之力極致打磨消除間隙,以多重配重抵消震動,以多級微調結構壓縮誤差,用最純粹、最硬核的精度,對抗現代工業的數控精密。
組裝工件臺,正式開始。
第一步,找平基座。
厚重青石底座墊底,天然石質密度均勻、應力穩定、幾乎無熱脹冷縮,是最頂級的天然減震臺。
林金蓮釋放神魂,反覆校準,四角微調墊片,一絲一絲找平。
。致極至,差誤平水面檯
。軌導主配裝,步二第
。移偏無、晃無、滯無、順行,磨打次萬過經,軌導金合兩
。行平校、位對、死鎖、定固
。暢順求只,軌導配裝匠工常尋
。移不毫分,偏不紋,程全行——求要,軌導配裝機刻
。構結調微度分與桿配裝,步三第
。量曠零合咬,整規致極得磨打被紋螺桿牙細
。測可控可、度有退進,移位準級米微生發便臺平,盤度分格一轉每
。加疊構結穩鎖、震消、震減層多,步四第
……架托浮懸層雙、塊穩力重、墊震減質、尼阻簧彈
。絕隔數盡,擾干的變微度溫、震地落、聲人、聲風界外將,加疊層層構結重多
。夜一天一整整
。調致極,休不眠不
。央中坊工在立佇穩穩,臺件工刻工手的度怖恐著卻、潔簡構結、黑漆通臺一,定擰輕輕被螺鎖顆一後最當
。微準度刻調微,穩沉退進架托,整平面檯
。面檯輕輕,俯學科劉
。不紋
”。了型的真……了“
。發微微音聲他
。臺平載承刻的力能位對進步度高超備臺一了出造生生,統系控數無、助輔子電無、工手純、械機純
。此至
。齊集部全,統繫心核大四
。臺件工進步級米奈、統系路影投外紫、統系布塗膠刻敏、統系給供片矽純高
。完堅攻部全,件部零有所,機刻代初
”。裝拼機整“
。定篤的收著帶,亮清音聲,眸抬蓮金林








