他們默契配合,開始最終總裝。
減震基座居中,工件臺鎖死固定,鏡筒光路精準對位吊裝,光源模組校準居中,遮光防塵外框合圍封裝。
每一條線路對齊,每一個結構卡緊,每一處間距校準。
從清晨到黃昏。
當日落餘暉鋪滿實驗室的窗臺,一臺造型樸素、結構簡約,卻凝聚無數心血、跨越無數工業壁壘的初代光刻機,靜靜佇立在實驗室中央。
機身不華麗,卻通體精密。
沒有流水線的科技質感,卻承載著從零破局的逆天匠心。
“整機完成。”
林金蓮退後兩步,看著眼前親手鑄就的裝置,輕輕吐出一口氣。
劉科學望著這臺最不可思議的光刻機,眼眶微熱。
多少人以為,光刻機是遙不可及的天上星辰,是永遠摸不到的工業明珠。
可此刻,在這間小小的實驗室裡,被他們親手造了出來。
“最後一步——試曝光。”
林金蓮取來全新高純矽片,均勻塗布自研光刻膠,避光陰乾,穩穩固定在工件臺中心。
裝好預設電路掩模版。
校準光路、鎖死焦距、封閉光源、隔絕雜光。
一切就緒。
“啟動曝光。”
淡紫色紫外光源緩緩亮起。
光束入鏡筒,層層折射、消色差、平行校準、聚焦壓縮。
最終,一束極致纖細、極致乾淨的光刻光束,穿透掩模版,精準落於矽片膠面。
工件臺按照預設微步,平穩、勻速、精準位移。
無聲無息,奈米級掃描曝光。
時間一秒一秒流逝。
全程無震動、無偏移、無散光、無畸變。
曝光結束,光源關閉。
靜置化學反應。
滴入顯影液。
——滋滋
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