八月三號,鵬城,實驗樓三層。
錢院士帶了十二個人,關在機房裡,三天沒出來。
手冊拆開之後,問題比想象的多。蔡司的鍍膜工藝用的是磁控濺射加離子束輔助沉積,兩套系統配合,精度要求到了亞奈米級別。
錢院士的助手小周拿著打印出來的引數表,站在裝置前,對了半天。
“錢老,咱們這臺濺射裝置,靶材轉速最高到三千轉,手冊上要求四千五。”
錢院士走過來,看了一眼引數。
“膜厚控制呢?”
小周翻到第三頁:“手冊要求單層膜厚度誤差不超過零點零二奈米。咱們這臺裝置最好做到零點零八,差四倍。”
錢院士把引數表放下,摘了老花鏡。
裝置不夠——這是硬傷。
他打給張紅旗。
“紅旗,裝置精度不夠。手冊裡的工藝,咱們現有的機器跑不了。”
張紅旗在煤市街:“差多少?”
“核心指標差三到四倍。要麼換裝置,要麼改裝置。換裝置國內買不到,國外買走審批,最快半年。”
張紅旗說:“改。”
“改裝置風險很大,改壞了連現在的精度都保不住。”
張紅旗說:“錢老,您先穩住。材料那邊我來解決。裝置改造的方案您先出,我這邊配合。”
掛了。
八月四號,東京,住友化學株式會社。
住友的半導體材料部門收到了一份內部通報:AS和一家開曼信託公司達成了專利交叉授權協議,鍍膜技術引數外流。
住友的材料部部長田中看完通報,叫來下屬。
“查一下,之前跟我們採購高純度鉬靶材的那個中國團隊,是不是鵬城那邊的?”
下屬查了記錄:“是。去年十一月下過一批訂單,後來因為出口管制審批卡住了,一直沒發貨。”
田中點頭:“現在AS把技術給出去了,說明這個團隊有背景。重新聯絡他們。”
下屬問:“價格呢?”
田中說:“漲百分之五十。”
下屬沒多問,發了郵件。
八月五號,鵬城,錢院士收到住友的郵件。
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