思路很簡單：裝置硬體做不到零點零二奈米的精度，就在每一層鍍膜的過程中用感測器即時採集資料，反饋到演算法裡，演算法即時修正下一步的沉積引數。
等於讓一個手抖的人，靠一套自動修正系統，畫出一條直線。
八月九號，凌晨兩點，補償引數跑出來了。
小周把引數灌進裝置控制系統，重啟。
濺射裝置嗡嗡響了起來。
錢院士站在無塵室的觀察窗外，看著裡面。
第一層鉬膜，沉積開始。
感測器採集，資料回傳，演算法修正。第二層矽膜，沉積，採集，修正。
一層鉬，一層矽，交替沉積。
EUV反射鏡面需要四十對鉬矽多層膜——八十層，每層厚度不到七奈米。
八月十號，下午三點，八十層鍍完。
小周從無塵室裡出來，手裡端著一塊圓形基片，直徑十五釐米，表面泛著金屬光澤。
錢院士接過來，放在檢測臺上。
橢偏儀啟動，雷射打在鏡面上，反射，探測器接收。
資料出來了。
小周看著螢幕，念數：“單層膜厚度誤差，零點零三五奈米。”
錢院士沒說話。
手冊要求零點零二，他們做到了零點零三五。沒達標，但比原來的零點零八好了一倍多。
“反射率呢？”
小周切換到下一組資料：“十三點五奈米波長，反射率百分之六十二點三。”
錢院士看著這個數字。
手冊上蔡司的指標是百分之六十七，差了不到五個點。
但是，EUV光刻機的最低工作門檻是百分之六十。
他們過線了。
錢院士走到角落，拿起電話。
“紅旗，光打通了。”
張紅旗在煤市街的院子裡，正看著陳默送來的一份報告。
“什麼意思？”
”。準標發低最的刻VUE了到達數引。束定穩了形，面鏡反過穿，米奈五點三十，源外紫極“：穩平音聲士院錢
。下放告報的裡手把旗紅張
”？認確您，老錢“
”。檻門的十六之分百了過，三點二十六之分百率反。字黑紙白，的錄記儀“
。晃裡風夜在子葉樹槐。裡子院到走，來起了站旗紅張
”。步一第是這“
”。了過是算，關這面鏡但。頭骨是都項一每，版模掩、臺件工、組鏡、統系源有還面後。步一第是“：說士院錢
”。傳外要不，好鎖料資。了苦辛，老錢“：說旗紅張
”。心放“
。話電了掛
。告報業行份一的來發磯杉從佳佳麥著攤上桌。房書到回旗紅張
。頁四十第到翻，來下坐他
。線曲長增者用使路網頻寬球全
。億二點一破突底年計預；萬千八，中年二零零二；萬千五者用使頻寬球全，底年一零零二
。十四百一之分百化年，率長增
。線曲條這著盯旗紅張
。家萬十破突量數咖網，萬百六到漲年半萬百三的初年從者用使頻寬，場市國中。頁一下到翻他
。字行一了寫上本記筆在，筆起拿，告報上合他
”。臺平，容，頻寬“
。上寫又，字個兩”臺平“了掉劃他
”。容做先“
