七月初，海灣科技再一次給徐申學報喜，說是已經研發出來了DUV乾式光刻機的樣機，正準備進行第一次開機測試。
得到這個訊息後，徐申學推掉了其他的行程，當天就去了海灣科技。
抵達海灣科技後，王道林一臉喜色的帶著徐申學參觀了他們最新的研發成果：一臺完全自研的DUV乾式光刻機。
“從光源系統到物鏡，再到機臺等所有的子系統整合以及部分關鍵零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投資，智雲科技旗下的兄弟公司所提供，此外這些子系統的背後所需要的眾多零部件，除了我們自家的兄弟公司外，還有其他超過一千多家國內企業供應。”
“參與這個專案研發的企業數量，直接或間接達到了接近兩千家，各類研究所一百多家，還有十多所著名高校也都參與了進來！”
王道林說著的時候，激動中更帶著感嘆：“這可是真正的舉國之力才能搞出來的頂級裝置啊！”
“我們硬是靠著一家之力，做到了整個歐美日韓整個西方體系整合起來才能做到的事情，這難度，比單純研發一個光刻機更難。”
“如果是依託全球產業鏈，搞這東西雖然技術難度很高，但是我們要做的也只是系統整合工作而已，難度雖然有，但是不至於有什麼代差，給我們ASML的零部件供應商，我都敢放話，最多一年時間就能夠弄出來DUV浸潤式光刻機甚至進軍EUV光刻機！”
“但是我們沒有這些全球範圍的供應商啊，所以很多東西都只能自己在國內找，實在找不到就只能自己從頭研發！”
“DUV光刻機的全部國產化，其難度大的驚人！”
“很多東西都要從原材料開始研發！”
王道林說著的時候，一旁的南江科技的研發部門負責人曹星辰也是接上了話頭：“不錯！”
“我們公司是搞物鏡，為了這個DUV光刻機的物鏡，我們是從材料到加工工藝，全都是重新搞的！”
“我們南江科技主導，還拉著一大票研究所，合作企業，同時展開了數十個新材料研究專案，挨個測試各種材料並對材料進行針對性的改進。”
“最終花了兩年多時間，這才弄出來了堪用的材料！”
“但是弄出來材料還不行，然後還得加工啊！”
“這加工更難！”
曹星辰說的時候，也是回想起來了之前的研發困境，不由得感嘆：“光刻機所需要的鏡片精度是非常高的，通常需要達到波長的五十分之一，比如我們這DUV乾式光刻機的光源波長是193奈米，五十分之一就是三點八六奈米！”
“這種精度的加工，幾乎超過普通人的想象！”
“而我們南光之前在生產I-line光刻機鏡片以及KRF光源鏡片的時候，採用的是國內現有的一些技術，比如小磨頭拋光、磁流變拋光等技術。”
“原有的這些技術用來加工DUV光刻機所需要的鏡片還不夠！”
“而且想要在原來的技術路線想要獲得更大的突破，達到蔡司，尼康等廠家的水準難度非常大。”
“為了解決這一問題，我們的研發團隊一邊現有技術進行研發，一邊開發新技術，其中的一項新技術得到了迅速發展，這就是離子束拋光技術。”
說到這個離子束拋光技術的時候，曹星辰整個人都變的激動了起來：
“這項技術雖然也很難研發，為此耗費了我們大量的人力物力，但是真正做出來後效果那是真的好啊！”
“利用該技術我們可以輕易的加工出來滿足DUV乾式光刻機需求的鏡片，甚至後續工藝繼續改進後，搞出來DUV浸潤式光刻機的鏡片也是問題不大！”
DUV乾式光光刻機和浸潤式光刻機，雖然使用的光源都是ARF光源，但是浸潤式光刻機的光源經過超純水的折射後，波長卻是演變為134奈米。
因為兩者雖然光源系統看似一樣，但是對物鏡以及其他子系統的要求是不一樣的。
”！的片鏡的要需所機刻VUE於用可，高更度來出搞夠能是來未，去下耘耕續繼上技項這在至甚“：著說續繼辰星曹
。分部的鍵關為最裡統系子列系一這是就鏡而，合配的統系子多諸他其要需還，外步進級升斷不統系源了除，級升技的技科代代一
。統系子的心核最度刻響影是點兩這上以
。了是就差能不也等準對臺機如比，面方他其，然當
。況的統系子各及以況本基的機刻式乾VUD臺這的前眼了紹介式方的懂易單簡用冊手技份這，人的技懂不個這學申徐顧照了為，冊手技的中手著看翻後然，話些這著聽學申徐
。料資技的域領導半是其尤，技些一看翻，習學常經會也候時的事啥沒著閒後然，掛外的額名研科級B個一著掛己自給年常學申徐前之是就也
！麼什著味意後背其，數引技種各的述描上料資技這來出看夠能也多以所
！置裝級頂的來出搞夠能才力之國舉個一是這：樣一的說林道王和就
。了機刻來出做獨單法無也國是怕哪，故緣的工分化球全為因家國他其，了夏華有只，的來出做力之國一著靠夠能正真，在現了到西東這機刻，說的確準且而
。的發研作合起一所究研個十數和是上際實發研的料材是但，技科江南是的導主，子例為鏡是還
！來出不搞也年十過再，員人發研料材點那己自技科江南靠，西東這玩起一你合配校高，所究研料材多麼這有沒
。的發研製定門專所研科多眾是都實其置裝多很是但，的工加技科江南是工加然雖，是也工加片鏡
。的來出做裡室驗實在馬牛研科多眾著帶們佬大群一，構機研科的級頂國家幾是件部零心核不，置裝拋束子離置裝心核的中其
。的發研你給構機和人到找能就了錢給說是不就，事多很是但，的錢了給是都技科江南，裡程過發研個整怕哪
。行才蘊底的足充有家國個這且並，家國的大龐個一麼這有得也你，西東這搞錢花要想你
”！了目面真的西東這到看是算總，了年幾好了搞也來起算，啊易容不“：嘆了出發，’子櫃大‘臺這的方前看看再，書明說技了上合學申徐
”！了苦辛都家大“：圈一的邊周著對學申徐，完嘆
”！何如料實材真的準水業工的級頂最們我表代看看我讓，嗎試測行進要說是不，來起貝寶大的們我讓，來“
”！呢看來過你董徐著等就，了當妥備準經已就前之作工試測的們我，嘞好“：道林道王
。大不題問是則試測行進是但，行可不產生行進，置裝心核些一的他其及以片圓晶矽有，線產小的用試測的單簡個一有也，邊這技科藍海
。刻行進上臺機的機刻送被再，後作列系一過經，膠刻上塗噴被片圓晶矽的好備準就早裡房機的黃暖，作了行進始開也員人研科的裡室驗實塵無，啟開試測著隨
。的去進能不是人外通普，外進以可後塵除的嚴過經員人作工屬專數極了除，高常非求要的境環對作工機刻竟畢，程過轉運的部其到不看也學申徐實其，後來起啟機刻
。的黃暖是都燈，裡間車試測的機刻以所……求要有都線對，候時的作工機刻這，了去進能不人說別
……長波源的機刻到響影會，燈的調他其為因
。技產生的峰巔為最類人代當是可片晶造製
