如智雲S303晶片,在指甲蓋的晶片上,封裝了足足七億多個電晶體。
其技術難度相當於在指甲蓋大小的晶片上,雕刻一座規模龐大的超級城市,而且還是住滿人的超級大城市。
這種超高精度的加工,除了對裝置要求極為苛刻外,還對環境要求也極為苛刻。
為了避影響測試,徐申學其實從頭到尾都沒有進入過機房,只是在外頭隔著玻璃看一眼看而已。
而等測試開始後,為了避免外部光線進入影響測試,乾脆是把玻璃窗都給遮擋了。
如今的徐申學以及其他一群人,只能是在外頭的觀察室裡,透過實驗室裡的攝像頭進行觀察。
不過怎麼說呢,晶片的生產雖然各種難,但是真正生產起來卻是沒有什麼驚天動地的舉動。
甚至連聲音也沒有多大,震動更是沒有。
一旁的工作人員都不敢說話,害怕聲音引起的震動影響測試……儘管這是他們的瞎擔心。
但是,在這種關鍵的試驗測試裡,很多人都是不由自主的謹慎了許多。
裡頭的那臺DUV乾式光刻機,可是彙集了無數人的心血啊,多少人為這臺光刻機的順利誕生而嘔心瀝血啊!
如今到了實際測試,看一看真本事的時候了,哪能不在乎、不小心啊!
徐申學看著攝像機裡的內容,整個晶片生產過程都是沒有人工參與,全部都是自動化裝置進行。
沒有多久,一旁的王道林就帶著一絲激動站起來道:“光刻已經順利完成了,後面就是要進行接下來的幾道去膠等工序,然後我們就可以看到試驗結果了!”
徐申學一副鎮定表情微微點頭!
看王道林這些人啊,就是眼界小了,格局差了,不過是第一遍光刻工序完成而已,這都是既定程式,沒啥好驚奇的。
不久後,隨著多道後續工序完成後,王道林道:“現在基本工序已經完成了,接下來就可以用電子掃描鏡進行觀察了。”
只是光刻試驗而已,自然不需要正常晶片生產流程裡的諸多後續工序,只需要光刻後進行去膠清洗等環節,做到能夠觀察其內部結構就行了。
很快,這一片晶圓片就被切割,然後其中的一片晶片被送到了專用的電子掃描鏡下進行放大觀察。
王道林一邊解釋道:“我們測試用的晶片,是一種集團裡的低製程功能晶片,採用的是六十五奈米工藝,正好用來測試我們的DUV乾式光刻機!”
這一次測試,只是測試光刻機的可用性,可不考慮什麼良品率之類的問題,因此只需要透過最基本的測試就過關。
很快,電子掃描鏡那邊也陸續給出了影像,一群研究人員對著顯示器裡的密密麻的晶片內部,奈米級別的電晶體電路進行檢查分析。
而分析的過程裡,可以看見那幾個工程師臉上的笑容越來越盛。
到了最後,其中一個工程師忍不住站起來:“成功了,我們成功了,光刻精度完全達到了設計要求!”
這個時候,不等王道林說話,原本坐著的徐申學自己就站起來快步走了過去。
然後看向螢幕裡的大片讓人看一眼就頭暈的密密麻麻的電晶體電路圖。
王道林也跟上來:“終於是成功了,徐董,我們沒有辜負您的期望,這DUV乾式光刻機,我們總算是做出來了!”
“只要現在的基本效能達到了設計指標,哪怕後續還存在一些問題,我們也可以後續慢慢改進,逐步提升銷量,良率,然後用於實際生產!”
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