曹所長一一介紹：
“這位是劉工，負責高功率雷射器研發！”
“這位是陳工，負責精密光學加工！”
“這位是張工，負責超精密運動控制。”
介紹完後，曹所長搓著手，有點緊張地問：
“江院士，您這次來，具體是想跟我們合作什麼方向？”
江辰從揹包裡拿出那個筆記本，翻到極紫外光源的那一頁，推到曹所長面前。
“極紫外光源，用於1nm光刻機。”
會議室裡安靜了整整五秒。
曹所長盯著那張光路圖，眼睛越瞪越大。
劉工湊過來看了一眼，手裡的茶杯差點沒端穩。
陳工和張工對視一眼，都從對方眼裡看到了兩個字……“離譜”。
“江......江院士。”
曹所長聲音都有點抖了，“您這張圖，是從哪兒來的？”
“自己畫的。”
“自己畫的？？？”
劉工忍不住了，“江院士，我搞了二十年高功率雷射器，這張圖裡的泵浦方式、增益介質的選擇、光學諧振腔的設計......”
“我從來沒見過這種方案！但憑我的經驗，這個方案在理論上是完全可行的！而且效率比我們目前用的方案高了至少一個數量級！”
江辰點頭，“對，這是我專門為光刻機光源最佳化的方案。”
“核心引數我都算過了，理論效率是目前主流方案的八到十倍。”
“如果實現，極紫外光源的輸出功率可以突破千瓦級。”
“千瓦級？？？”
曹所長差點從椅子上彈起來，“目前全球最先進的極紫外光源，輸出功率也就幾百瓦！千瓦級……那光刻效率能提升多少？”
“至少一個數量級。”
江辰頓了頓，“如果光源功率達到千瓦級，再配合高靈敏度的光刻膠，1nm製程的產率可以做到跟當前主流製程相當。”
“也就是說，1nm晶片的量產成本，不會比成熟製程高太多。”
曹所長癱在椅子上，兩眼放空，嘴裡喃喃自語：“1nm製程量產，成本可控......這要是做成了，東大晶片產業，至少提速十年......”
江辰合上筆記本，“三位主任，我需要光電所幫個忙。”
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