七月中旬。青衣九龍高階機械公司廠區。
林羽下了車，沒有去辦公樓，而是首接走進了，廠區後排那棟沒有任何標識的灰色實驗樓。
樓門口的安保系統是第一代磁卡識別門禁，武大致親自設計的。
刷卡之後還要輸入一個六位數密碼，密碼每天更換一次。
門禁旁邊的牆上，沒有掛任何銘牌，只有一串用膠帶貼在水泥牆上的編號:A7。
這裡是九龍高科“星光”專案的核心實驗室。
赫爾穆特·弗蘭克己經在裡面連續泡了好幾周了。
林羽推開實驗室的門時，裡面的空氣是一股混合了，極紫外光源專用氟氣殘餘微量的清冷金屬味。
赫爾穆特站在光學平臺前面，身上那件白大褂的袖口，己經被雷射除錯時的濺射燒出了兩三個小洞。
但他渾然不覺。他正盯著前方一個放置在磁遮蔽元件中的極紫外光源發生器，發生器本身大概只有小行李箱那麼大，但周圍的配套系統。
真空泵、冷卻迴圈管道、電源調理機櫃，這些裝置填滿了整個房間的後半部分。
“林先生。你來得正好。”赫爾穆特摘下護目鏡，臉上難以抑制地泛著只有長期浸淫在技術攻關中的科學家才有的興奮。
“我們昨晚凌晨西點多，完成了第一期EUV光源的實驗室級驗證。鏡頭組的光損耗仍然偏高，但光源己經穩定產生了預期波段。”
武大致站在光學平臺旁邊，手裡拿著一份剛打印出來的測試資料。
他表情平靜，任何人看到他那張招牌式的理工男撲克臉，都絕不會猜到他手裡這份資料意味著什麼。
林羽接過資料快速翻看了一遍。
關鍵的幾條項：在A7實驗室執行環境下，極紫外光源發生器持續產生了標定的13.5奈米波段輻射。
雖然功率還遠不足以用於商用級光刻生產，但這條線證明了一個根本性的結論。
由九龍高科自研的，這套多層級鏡面反射系統在物理上完全成立。
這不是一件空想想的事，它的底層物理路徑己經被真實的光子脈衝走通。
“功率還需要提高，大量的提高。”赫爾穆特邊說邊在光學平臺的遮光板外飛快地畫了一張曲線簡圖，“我們目前的功率大概只夠把一片乒乓球拍大小的光刻膠樣品感光，而且還需要很長的曝光時間。”
武大致轉著手裡的鉛筆補充道:“按達標速度算，今年年底之前功率可以比現在提升到更實用的水平。後面再把電源分支調優反饋之後，每年都還會有明顯躍升。”
“這些技術細節我是外行。”林羽把資料還給武大致，“我就問一個問題:這條路，走得通嗎。”
赫爾穆特和武大致幾乎同時點頭。“走得通。但還需要時間。”
林羽看著光學平臺上那臺EUV光源，它的外殼被各種除錯連線胡亂貼著的黑色布基膠帶包得像個實驗室裡的半成品怪物，但它內部的光學結構己經被極為精細地調校過。
他雖然不是很精通，但後世是見過更高階的裝置的，整體還是不錯的。
“繼續。你們要多少錢我批多少。”
威廉·坂口的運動平臺實驗室和赫爾穆特的EUV實驗區隔了一條走廊。
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